三元混晶銅カルコパイライトの原子層エピタキシャル成長

三元混晶铜黄铜矿原子层外延生长

基本信息

批准号：
06650009
负责人：
飯田誠之
金额：
$ 1.22万
依托单位：
Nagaoka University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
起止时间：
1994 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究の目的は,金属塩化物(CuCl,GaCl_3と硫化水素の交互供給により申請者が初めて報告したCuGaS_2の原子層エピタキシャル成長(ALE)の研究成果を基礎として,1.CuAlS_2のALEが可能かどうかを調べることである.そしてCuAlS_2のALEが可能となったならば,2.CuGaS_2のALE条件を踏まえて,CuAl_XGa_<1-x>S_2混晶のALEを,(CuAlS_2)_n)(CuGaS_2)_mの規則混晶とAlとGaが混在する不規則混晶のそれぞれのかたちで試みることである.目的1.については,CuGaS_2の場合と同様に金属塩化物(III族原料にはGaCl_3の代わりにAlCl_3を用いた)と硫化水素の交互供給を行ったところ,CuAlS_2の1サイクル当たりの成長速度が単分子層厚で飽和する領域を,基板温度およびCuとSの各原料供給量に対して観測した.しかし,Al原料供給量に対して成長速度の飽和が観測されなかったこと,c軸方向だけでなくa軸方向への配向も混在していたことから,ALEは達成されていないと思われる.CuAlS_2のALE、さらに目的2.のCuAl_xGa_<1-x>S_2のALEが可能かどうかを明らかにするためには,成長メカニズムの解明が必要と考え,CuとAlの金属原料を独立に供給可能なように成長装置を改造し,原料の供給順序や供給方法をかえて成長実験を行った.実験結果から,S原料ガスがCuおよびAlの2種類の金属原料ガスと同時に混合された場合でしかCuAlS_2層が成長しないことがほぼ確かとなった.III-V族のクロライド系ALEにおいては一塩化金属分子が成長表面上に一分子層吸着することが自己停止機能につながっていると解釈されていることを踏まえ,III族原料としてAlClに分解されることが期待できる有機金属原料(C_2H_5)_2AlClを用いて成長を行った,CuAlS_2は生成することが明らかになり,この原料でCuAlS_2のALEを試みる必要がある.

这项研究的目的是研究1.cuals_2的啤酒是否可能基于cugas_2的原子层外际生长（ALE）的结果，该申请人首次通过替代金属氯化物的供应（Cucl，gacl_3和gaCl_3 and gaCl_3 and gaCl_3 and gaCl_3 and hydogen of Sulfide of Caims_2），cauals_2是cuals_2，c的caual s caual of cal_2，caucga of caim_2 caual of caim_2。晶体，（cuals_2）_n）（CUGAS_2）_m的规则混合在一起。目的是尝试形成不规则的混合晶体，其中混合了晶体，Al和Ga。关于目标1，当金属氯化物（使用ALCL_3而不是GACL_3用于第三组材料）和硫化氢交替提供（如CUGAS_2的情况），以及Cuals_2的每周循环每周循环的增长速率与单层厚度相饱和的区域未观察到Cu and S.的饲料速率，而Cu and feed速率是，CU的饲料率是饱和率，而cu and feed率是，cu和S. C轴方向。由于方向沿A轴方向混合，因此似乎尚未实现啤酒。为了澄清目标2中的cuals_2和cual_xga_ <1-x> s_2是否可以澄清是否可能澄清ALE是否可以使用ALE，我们已经修改了生长机制，以使Cu和Al的金属材料和AL可以独立地提供供应订单，并供应材料的材料，并进行了材料的订单，并进行了方法。从实验结果中，S原材料气体与Cu和Al的两种类型的金属原材料同时混合。几乎可以肯定的是，cuals_2层仅在发生这种情况时生长。鉴于在基于IIII-V的基于III-V的基于ALE中，据解释说，金属单氯化物分子在生长表面上的吸附会导致自我静止的功能，因此已经揭示了有机金属原料（C_2H_5）_2ALCL，可以预期将其作为III III材料的材料和Ales and Ales和Ales cook and Cooc and cook anclcl。