3D Microfabrication on silicon by a femtosecond laser via non-linear processes
利用飞秒激光通过非线性工艺在硅上进行 3D 微加工
基本信息
- 批准号：26630023
- 负责人：
- 金额：$ 2.5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（8）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
赤外フェムト秒レーザーによってシリコン基板裏面に形成された周期構造，
使用红外飞秒激光在硅基板的背面形成周期性结构。
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：片岡大煕;チア シン イン;服部智哉;田辺里枝;伊藤義郎
- 通讯作者：伊藤義郎
Modification and Machining on Back Surface of a Silicon Substrate by Femtosecond Laser Pulses at 1552 nm
1552 nm 飞秒激光脉冲对硅衬底背面进行改性和加工
- DOI：10.2961/jlmn.2014.02.0004
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yoshiro ITO;Hiroki SAKASHITA;Ryosuke SUZUKI;Mitsuru UEWADA;Khanh Phu LUONG and Rie TANABE
- 通讯作者：Khanh Phu LUONG and Rie TANABE
Formation of fine periodic structure on rear-surface of silicon substrate by femtosecond laser at 1552nm
1552nm 飞秒激光在硅衬底背面形成精细周期结构
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Chiah Sin Ying;Kataoka Daiki;Tanabe Rie ;Ito Yoshiro
- 通讯作者：Ito Yoshiro
Machining oｎ Rear Surface of a Silicon Substrate by an Infrared Femtosecond Laser via Non-linear Absorption Processes
红外飞秒激光非线性吸收过程对硅基片背面进行加工
- DOI：10.1016/j.procir.2016.02.191
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Khanh Phu LUONG;Rie TANABE;Yoshiro ITO
- 通讯作者：Yoshiro ITO
赤外フェムト秒レーザーを用いたSi基板の3次元選択加工における空間光位相変調器による収差補正の効果とSi基板裏面に形成されたLIPSS
使用红外飞秒激光和在硅衬底背面形成的LIPSS对硅衬底进行3D选择性加工时，空间光相位调制器的像差校正效果
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Khanh Phu LUONG;Rie TANABE;Yoshiro ITO;片岡大熙・Chiah Sin Ying・伊藤義郎・田辺里枝
- 通讯作者：片岡大熙・Chiah Sin Ying・伊藤義郎・田辺里枝
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