Multilayer-mirror objective for diffraction-limited focusing in extreme ultraviolet region

用于极紫外区域衍射极限聚焦的多层镜物镜

基本信息

批准号：
16K13693
负责人：
Toyoda Mitsunori
金额：
$ 2.33万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2016
资助国家：
日本
起止时间：
2016-04-01 至 2018-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（8）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法

EUV成像系统曲面多层镜引起的色差及其校正方法

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
M. Toyoda;Y. Tamaru;S. Mori;K. Sawada;Y. Fu;E. J. Takahashi;A. Suda;F. Kannari;K. Midorikawa;M. Yanagihara;金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
通讯作者：
金子明誉,豊田光紀,高田昌樹

Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region

用于 40 nm 波长区域聚焦物镜的多层反射镜

DOI：
发表时间：
2017
期刊：
Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers
影响因子：
0
作者：
M. Toyoda;Y. Tamaru;S. Mori;K. Sawada;Y. Fu;E. J. Takahashi;A. Suda;F. Kannari;K. Midorikawa;and M. Yanagihara
通讯作者：
and M. Yanagihara

回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発

开发实现衍射极限EUV成像的消色差EUV多层镜

DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
通讯作者：
金子明誉,豊田光紀,高田昌樹

Multilayer Mirror Objective for Focusing Isolated Attosecond Pulse in 40 nm Wavelength Region

用于聚焦 40 nm 波长范围内的孤立阿秒脉冲的多层镜物镜

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
藤田英理;金澤誠司;大谷清伸;小宮敦樹;金子俊郎;佐藤岳彦;M. Toyoda,Y. Tamaru,S. Mori1,K. Sawada,Y. Fu,E. J. Takahashi,A. Suda,F. Kannari,K. Midorikawa,M. Yanagihara
通讯作者：
M. Toyoda,Y. Tamaru,S. Mori1,K. Sawada,Y. Fu,E. J. Takahashi,A. Suda,F. Kannari,K. Midorikawa,M. Yanagihara

Imaging properties of an extreme ultraviolet microscope objective with reduced Fresnel number

DOI：
10.1016/j.optcom.2017.08.031
发表时间：
2017-12
期刊：
Optics Communications
影响因子：
2.4
作者：
M. Toyoda;Kota Kuramitsu;M. Yanagihara
通讯作者：
M. Toyoda;Kota Kuramitsu;M. Yanagihara

DOI：
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作者：
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Toyoda Mitsunori其他文献

Conservation of energy between pupil and image for point spread function

点扩散函数的光瞳和图像之间的能量守恒

DOI：
10.1016/j.ijleo.2021.168189
发表时间：
2022
期刊：
Optik
影响因子：
3.1
作者：
Shibuya Masato;Tanabe Takao;Toyoda Mitsunori
通讯作者：
Toyoda Mitsunori

Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere

氢气氛下高功率EUV辐照工具的开发

DOI：
10.35848/1347-4065/ac15ef
发表时间：
2021
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
影响因子：
1.5
作者：
Harada Tetsuo;Yamakawa Shinji;Toyoda Mitsunori;Watanabe Takeo
通讯作者：
Watanabe Takeo

Removal of Mo/Si multilayer coatings on fused silica substrates by wet chemical etching

湿法化学蚀刻去除熔融石英基底上的 Mo/Si 多层涂层

DOI：
10.35848/1882-0786/abf666
发表时间：
2021
期刊：
Applied Physics Express
影响因子：
2.3
作者：
Toyoda Mitsunori;Yokoyama Ryo;Waki Shuntaro;Kakudate Toshiyuki;Chen Jun
通讯作者：
Chen Jun

Global optimization of two-multilayer mirror objective for focusing soft X-ray high harmonics

用于聚焦软X射线高次谐波的两层多层镜物镜的全局优化

DOI：
10.1117/12.2520543
发表时间：
2019
期刊：
Proc. SPIE
影响因子：
0
作者：
Toyoda Mitsunori;Yamashita Shota;Chen Jun
通讯作者：
Chen Jun

Tunable electronic properties in bismuthene and two dimensional SiC van der Waals heterobilayer

铋烯和二维 SiC 范德华异质双层中的可调谐电子特性

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
Shibuya Masato;Tanabe Takao;Toyoda Mitsunori;Md. Sherajul Islam & J. D. Sarker & ASM Jannatul Islam & A. G. Bhuiyan & T. Makino & A. Hashomoto
通讯作者：
Md. Sherajul Islam & J. D. Sarker & ASM Jannatul Islam & A. G. Bhuiyan & T. Makino & A. Hashomoto