Research on the high spatial resolution dynamic characteristics profiling technology using atomic force microscope

原子力显微镜高空间分辨率动态特性分析技术研究

• 批准号: 15K13827
• 负责人: Kometani Reo
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2015-04-01 至 2017-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15K13827/
• 关键词: NEMS; ナノメカニカル構造体; 機械特性; ひずみ; 顕微ラマン分光法; ひずみ計測; 顕微ラマン分光; 先端増強ラマン分光; ナノ振動子; 動ひずみ; 位相分解計測

项目成果

東京大学大学院工学系研究科 機械工学専攻 米谷研究室

东京大学大学院工学研究科机械工学科米谷实验室

Gold-assisted chemical etching of silicon dioxide technique and application for micro-pattering

金辅助二氧化硅化学刻蚀技术及其在微图案化中的应用

• 发表时间: 2015
• 作者: T. Murakami;E. Maeda;R. Kometani
• 通讯作者: R. Kometani

FIB/EB複合リソグラフィーによるNEB-22レジストからのカーボンナノメカニカル構造の作製

利用 FIB/EB 组合光刻法从 NEB-22 抗蚀剂制备碳纳米机械结构

• 发表时间: 2017
• 作者: 湯浅 勇貴;前田 悦男;米谷 玲皇
• 通讯作者: 米谷 玲皇

Triple-walled gold surfaces with small-gaps for nonresonance surface enhanced Raman scattering of rhodamine 6G molecules

• DOI: 10.1116/1.4938483
• 发表时间: 2016-01-01
• 期刊: JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
• 影响因子: 1.4
• 作者: Baba, Tatsuya;Lee, Yaerim;Takigawa, Ryo
• 通讯作者: Takigawa, Ryo

Control of upward growth on the three-dimensional nanostructure fabrication by focused-ion-beam chemical vapor deposition

聚焦离子束化学气相沉积三维纳米结构向上生长的控制

• 发表时间: 2016
• 作者: M. Sekine;E. Maeda;R. Kometani
• 通讯作者: R. Kometani