UV光照射によるネガ型レジストの電子ビーム露光での感度向上
使用紫外光照射通过电子束曝光提高负性抗蚀剂的灵敏度
基本信息
- 批准号：24H02555
- 负责人：
- 金额：$ 0.29万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
- 财政年份：2024
- 资助国家：日本
- 起止时间：2024-04-01 至 2025-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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