汎用SEMとステンシルマスクを用いた近接転写による簡易電子線リソグラフィ法の開発

使用通用 SEM 和使用近距离传输的模板掩模开发简单的电子束光刻方法

基本信息

批准号：
24H02574
负责人：
佐藤美那
金额：
$ 0.3万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2024
资助国家：
日本
起止时间：
2024-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-24H02574/
关键词：

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

DOI：
{{ item.doi }}
发表时间：
{{ item.publish_year }}
期刊：
{{ item.journal_name }}
影响因子：
{{ item.factor }}
作者：
{{ item.authors }}
通讯作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

作者：
{{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

佐藤美那其他文献

Si/SiO2上金ナノ円盤の表面電位の光照射依存およびその構造依存性

金纳米盘表面电势对 Si/SiO2 的光照射依赖性及其结构依赖性

DOI：
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
0
作者：
江崎智太郎;松谷晃宏;西岡國生;庄司大;佐藤美那;岡本隆之;磯部敏宏;中島章;松下祥子
通讯作者：
松下祥子

トップダウン・ボトムアップ統合アプローチによるポリスチレン四重極子の作製

使用自上而下和自下而上集成方法制造聚苯乙烯四极杆

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
高橋毅;松谷晃宏;庄司大;西岡國生;佐藤美那;磯部敏宏;中島章;松下祥子
通讯作者：
松下祥子

佐藤美那的其他文献

DOI：
{{ item.doi }}
发表时间：
{{ item.publish_year }}
期刊：
{{ item.journal_name }}
影响因子：
{{ item.factor }}
作者：
{{ item.authors }}
通讯作者：
{{ item.author }}

{{ truncateString('佐藤美那', 18)}}的其他基金

圧力差を利用したキャップ固定による試料の作製から分析までの可搬式真空一貫プロセス

从样品制备到使用压力差固定盖进行分析的便携式真空集成过程

批准号：
26917015
财政年份：
2014
资助金额：
$ 0.3万
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists

相似国自然基金

海洋缺氧对持久性有机污染物入海后降解行为的影响

批准号：
42377396
批准年份：
2023
资助金额：
49 万元
项目类别：
面上项目

支持二维毫米波波束扫描的微波/毫米波高集成度天线研究

批准号：
62371263
批准年份：
2023
资助金额：
52 万元
项目类别：
面上项目

腙的Heck/脱氮气重排串联反应研究

批准号：
22301211
批准年份：
2023
资助金额：
30 万元
项目类别：
青年科学基金项目

水系锌离子电池协同性能调控及枝晶抑制机理研究

批准号：
52364038
批准年份：
2023
资助金额：
33 万元
项目类别：
地区科学基金项目

基于人类血清素神经元报告系统研究TSPYL1突变对婴儿猝死综合征的致病作用及机制

批准号：
82371176
批准年份：
2023
资助金额：
49 万元
项目类别：
面上项目

相似海外基金

An implantable biosensor microsystem for real-time measurement of circulating biomarkers

用于实时测量循环生物标志物的植入式生物传感器微系统

批准号：
2901954
财政年份：
2028
资助金额：
$ 0.3万
项目类别：
Studentship

Exploiting the polysaccharide breakdown capacity of the human gut microbiome to develop environmentally sustainable dishwashing solutions

利用人类肠道微生物群的多糖分解能力来开发环境可持续的洗碗解决方案

批准号：
2896097
财政年份：
2027
资助金额：
$ 0.3万
项目类别：
Studentship

A Robot that Swims Through Granular Materials

可以在颗粒材料中游动的机器人

批准号：
2780268
财政年份：
2027
资助金额：
$ 0.3万
项目类别：
Studentship

Likelihood and impact of severe space weather events on the resilience of nuclear power and safeguards monitoring.

严重空间天气事件对核电和保障监督的恢复力的可能性和影响。

批准号：
2908918
财政年份：
2027
资助金额：
$ 0.3万
项目类别：
Studentship

Proton, alpha and gamma irradiation assisted stress corrosion cracking: understanding the fuel-stainless steel interface

质子、α 和 γ 辐照辅助应力腐蚀开裂：了解燃料-不锈钢界面

批准号：
2908693
财政年份：
2027
资助金额：
$ 0.3万
项目类别：
Studentship

会员权益说明：