Development of high-accuracy measurement technique for micro/nano-scale strain and residual strain distributions of semiconductor devices

半导体器件微纳尺度应变及残余应变分布高精度测量技术开发

基本信息

批准号：
18K13665
负责人：
Wang Qinghua
金额：
$ 2.66万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2018
资助国家：
日本
起止时间：
2018-04-01 至 2020-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（30）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

位相シフトデジタルホログラフィを用いた電子デバイスの面外変形の動画計測

使用相移数字全息技术对电子设备面外变形进行视频测量

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
夏　鵬;李　志遠;王　慶華;津田　浩
通讯作者：
津田　浩

Sampling moire as a special windowed Fourier ridges algorithm in demodulation of carrier fringe patterns

采样莫尔条纹作为载波条纹图案解调中的特殊加窗傅里叶脊算法

DOI：
10.1117/1.oe.57.10.100503
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
1.3
作者：
Kemao Qian;Agarwal Nimisha;Ri Shien;Wang Qinghua
通讯作者：
Wang Qinghua

微小格子を用いたマイクロスケールでのひずみ分布測定技術の開発

利用微晶格的微尺度应变分布测量技术的开发

DOI：
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
0
作者：
王慶華;李志遠;津田浩
通讯作者：
津田浩

Residual thermal strain distribution measurement of underfills in flip chip electronic packages by an inverse approach based on the sampling moire method

基于采样莫尔法的逆向方法测量倒装芯片电子封装底部填充材料的残余热应变分布

DOI：
10.1007/s11340-019-00571-7
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
2.4
作者：
Wang Qinghua;Ri Shien;Enomoto Toshiaki
通讯作者：
Enomoto Toshiaki

1-second-resolved strain mapping in Ti-6Al-4V alloys during dwell fatigue in SEM by video sampling moire

通过视频采样云纹在 SEM 中进行驻留疲劳期间 Ti-6Al-4V 合金的 1 秒分辨应变图

DOI：
10.1016/j.mechmat.2019.03.002
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
3.9
作者：
Wang Qinghua;Ri Shien;Maenosono Akira;Tanaka Yoshihisa;Koyama Motomichi
通讯作者：
Koyama Motomichi

DOI：
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作者：
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Wang Qinghua其他文献

Wide-view and accurate deformation measurement at microscales by phase extraction of scanning moire pattern with a spatial phase-shifting technique

通过空间相移技术对扫描莫尔图案进行相位提取，在微尺度上进行宽视角和精确的变形测量

DOI：
10.1364/ao.416742
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
1.9
作者：
Wang Qinghua;Ri Shien;Xia Peng
通讯作者：
Xia Peng

Random phase-shifting digital holography based on a self-calibrated system

基于自校准系统的随机相移数字全息术

DOI：
10.1364/oe.395819
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
3.8
作者：
Xia Peng;Wang Qinghua;Ri Shien
通讯作者：
Ri Shien

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DOI：
10.1364/ao.416742
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
1.9
作者：
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通讯作者：
Xia Peng

Crystallographic selection rule for the propagation mode of microstructurally small fatigue crack in a laminated Ti-6Al-4V alloy: Roles of basal and pyramidal slips

层状 Ti-6Al-4V 合金中微观结构小疲劳裂纹扩展模式的晶体学选择规则：基底滑移和金字塔滑移的作用

DOI：
10.1016/j.ijfatigue.2019.105200
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
6
作者：
Maenosono Akira;Koyama Motomichi;Tanaka Yoshihisa;Ri Shien;Wang Qinghua;Noguchi Hiroshi
通讯作者：
Noguchi Hiroshi

Ratiometric fluorescent probes for selective and sensitive visualization of bacterial microenvironment protease activity

用于细菌微环境蛋白酶活性选择性和灵敏可视化的比率荧光探针

DOI：
10.1039/c9cc00953a
发表时间：
2019
期刊：
Chemical communications
影响因子：
4.9
作者：
Wang Qinghua;Wang Xiang;Sun Ying;Yang Xiaoxiao;Zhang Leilei;Zhang Qingyang;Hu Zhi-Qiang;Hu Hai-Yu
通讯作者：
Hu Hai-Yu