Study of precision control of metal-assisted wet-chemical etching of Si using metal multi-layer as a catalyst

以金属多层为催化剂的金属辅助硅湿法化学刻蚀精度控制研究

基本信息

  • 批准号：
    18K04916
  • 负责人：
    Tomohiro Shimizu
  • 金额：
    $ 2.83万
  • 依托单位：
    Kansai University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份：
    2018
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2018-04-01 至 2022-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（22）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Effect of etching solution concentration on preparation of Si holes by metal-assisted chemical etching
刻蚀液浓度对金属辅助化学刻蚀制备硅孔的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
    Japanese Journal of Applied Physics
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    村田恭介;依岡拓也;白岩直哉;伊藤健;新宮原正三;清水智弘
  • 通讯作者：
    清水智弘
Influence of additives on formation of through-Si via in Si substrate using metal assisted chemical etching
添加剂对使用金属辅助化学蚀刻在硅衬底中形成硅通孔的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    T. Shimizu;S. Hanatani;T. Yorioka;N. Niwa;T. Ito;S. Shingubara
  • 通讯作者：
    S. Shingubara
貴金属触媒を用いた湿式Si-TSVエッチングにおける添加剤の効果
添加剂对使用贵金属催化剂的湿法 Si-TSV 蚀刻的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    丹羽良輔;花谷俊輔;山口嵩人;清水智弘;伊藤健;新宮原正三
  • 通讯作者：
    新宮原正三
Effect of concentration of the etching solution on preparation of Si holes using MacEtch process
蚀刻液浓度对 MacEtch 工艺制备硅孔的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    K. Murata;T. Yorioka;T. Ito;S. Shingubara;and T. Shimizu
  • 通讯作者：
    and T. Shimizu
MacEtchによるTSV形成における界面活性剤添加の効果
添加表面活性剂对 MacEtch 形成 TSV 的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    花谷俊輔;依岡拓也;清水智弘;伊藤健;新宮原正三
  • 通讯作者：
    新宮原正三
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

Tomohiro Shimizu其他文献

All-wet TSV filling with highly adhesive displacement plated Cu seed layer
全湿式 TSV 填充，具有高粘性位移镀铜籽晶层
Electrodeposited ZnO thin film on twin sensor QCM for Sensing of Ethanol at Room Temperature
双传感器 QCM 上电沉积 ZnO 薄膜用于室温乙醇传感
  • DOI：
    10.1016/j.proeng.2016.11.192
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    T. Ito;Yudai Fujii;Noriyoshi Yamanishi;Naoto Asai;Tomohiro Shimizu;S. Shingubara
  • 通讯作者：
    S. Shingubara
Additional Electrochemical Treatment Effects on the Switching Characteristics of Anodic Porous Alumina Resistive Switching Memory
附加电化学处理对阳极多孔氧化铝阻变存储器开关特性的影响
  • DOI：
    10.1143/jjap.51.06ff11
  • 发表时间：
    2012
  • 期刊：
    Japanese Journal of Applied Physics
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    S. Otsuka;R. Takeda;Saeko Furuya;Tomohiro Shimizu;S. Shingubara;N. Iwata;Tadataka Watanabe;Y. Takano;K. Takase
  • 通讯作者：
    K. Takase
Toward Automatic Tuning of Tendon-driven Mechanisms: Vibration based Detection of Tendon Tension
走向肌腱驱动机构的自动调节：基于振动的肌腱张力检测
  • DOI：
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Tomohiro Shimizu;Wenyang Li;Peng Chen;Yinlai Jiang;Shunta Togo;and Hiroshi Yokoi
  • 通讯作者：
    and Hiroshi Yokoi
Fabrication and characterization of nano porous lattice biosensor using anodic aluminum oxide substrate
使用阳极氧化铝基底的纳米多孔晶格生物传感器的制备和表征
  • DOI：
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    T. Ito;Y. Matsuda;T. Jinba;Naoto Asai;Tomohiro Shimizu;S. Shingubara
  • 通讯作者：
    S. Shingubara

Tomohiro Shimizu的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

相似国自然基金

世界锤角叶蜂科系统分类和系统发育研究
  • 批准号：
    32370500
  • 批准年份：
    2023
  • 资助金额：
    50 万元
  • 项目类别：
    面上项目
毛锤角细蜂寄生因子及其协同控害的作用机制
  • 批准号：
    32302426
  • 批准年份：
    2023
  • 资助金额：
    30 万元
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
DRAM存储器件行锤效应的漏电机理及其抑制方法的研究
  • 批准号：
    62204152
  • 批准年份：
    2022
  • 资助金额：
    30 万元
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
海上超长钢管桩贯入阻力的时间效应及复打拒锤的超前预报方法研究
  • 批准号：
  • 批准年份：
    2022
  • 资助金额：
    30 万元
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
基于“性效关联,动态表征”的藏药铁棒锤炮制方法及其减毒增效原理研究
  • 批准号：
    82130113
  • 批准年份：
    2021
  • 资助金额：
    290 万元
  • 项目类别：
    重点项目

相似海外基金

Pericoronary fat: MACE risk from non-contrast CT and the role of iodine perfusion in contrast CT
冠状动脉周围脂肪：非造影 CT 的 MACE 风险以及造影 CT 中碘灌注的作用
  • 批准号：
    10577558
  • 财政年份：
    2023
  • 资助金额：
    $ 2.83万
  • 项目类别：
The predictor of MACE in patients with ACHD
ACHD 患者 MACE 的预测因子
  • 批准号：
    20K08447
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 2.83万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Nanoengineered nanochannels for energy harvesting of low-grade waste heat
用于低品位废热能量收集的纳米工程纳米通道
  • 批准号：
    20K15147
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 2.83万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Mechanisms and Characterisation of Explosions (MaCE)
爆炸机制和特征 (MaCE)
  • 批准号：
    EP/R045240/1
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 2.83万
  • 项目类别：
    Research Grant
ECF microhydraulic pressure sources with high output power density using nanofabrication technology
采用纳米加工技术的具有高输出功率密度的 ECF 微液压压力源
  • 批准号：
    18H01359
  • 财政年份：
    2018
  • 资助金额：
    $ 2.83万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

知道了