CVD-SiC材料の高能率・超精密加工とその加工現象解明の研究

CVD-SiC材料高效超精密加工研究及加工现象阐明

基本信息

  • 批准号:
    24K07262
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.91万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2024
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2024-04-01 至 2027-03-31
  • 项目状态:
    未结题

项目摘要

项目成果

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