Fabrication Method for Micro Systems by Using 3-Dimensional Compliant Mechanism

利用三维柔顺机构的微系统制造方法

• 批准号: 19K04278
• 负责人: Nagasawa Sumito
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Shibaura Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2022-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K04278/
• 关键词: マイクロロボット; コンプライアント・メカニズム; MEMS; 折り紙構造; 形状記憶合金アクチュエータ; 積層型静電容量角度センサ; ポリマーアクチュエータ; コンプライアント・ヒンジ; マイクロ・ロボット; 6脚マイクロ・ロボット; 形状記憶ポリマーアクチュエータ; マイクロシステム

项目成果

Stacked electrostatic angle sensor implemented in micro robot leg joints

在微型机器人腿部关节中实现的堆叠式静电角度传感器

• DOI: 10.35848/1347-4065/abe5c0
• 发表时间: 2021
• 影响因子: 1.5
• 作者: Hara Tomoya;Asamura Kazuto;Nagata Yuya;Nagasawa Sumito
• 通讯作者: Nagasawa Sumito

Continuous Size Classification Device for Marine Microplastics by Pinched Flow Fractionation

海洋微塑料夹流分级连续粒度分级装置

• 发表时间: 2021
• 作者: K. Shimomoto; S. Nagasawa
• 通讯作者: S. Nagasawa

Continuous Size Classification Device for Marine Microplastics by Pinched Flow Fractionation

海洋微塑料夹流分级连续粒度分级装置

• 发表时间: 2021
• 作者: K. Shimomoto; S. Nagasawa
• 通讯作者: S. Nagasawa

Micro-Hexapod Robot Having an Origami-like SU-8 Coated Rigid Frame

具有类似折纸 SU-8 涂层刚性框架的微型六足机器人

• 发表时间: 2021
• 作者: K. Sugimoto; S. Nagasawa
• 通讯作者: S. Nagasawa

画素ごとに光学設計したマイクロレンズアレイのdeep RIEによる製作

使用深度 RIE 制造针对每个像素进行光学设计的微透镜阵列

• 发表时间: 2021
• 作者: 空真奈花; 長澤純人
• 通讯作者: 長澤純人