Elucidation of the effect of a trace amount of oxygen addition on the decomposition and removal of polymer materials using hydrogen radicals

利用氢自由基阐明微量氧加成对高分子材料分解和去除的影响

基本信息

批准号：
19K04543
负责人：
Yamamoto Masashi
金额：
$ 2.5万
依托单位：
Kagawa National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
起止时间：
2019-04-01 至 2023-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（21）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価

He/O2混合气体中产生的O自由基与抗蚀剂的反应性评价

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
通讯作者：
山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫

タングステン加熱触媒体で活性化したH2/O2混合ガスを用いたPAC量の異なるノボラックレジストの除去

使用钨加热催化剂活化的 H2/O2 混合气体去除含有不同量 PAC 的酚醛清漆光刻胶

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
通讯作者：
秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫

水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果

氮气稀释对氢自由基抗蚀剂去除率的影响

DOI：
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
0
作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，西岡寛人，谷野柊，濱崎智行，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，関口淳，梅本宏信，堀邊英夫;谷野柊，濱崎智行，山本雅史，鹿間共一，堀邊英夫，関口淳;秋田航希，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫;西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
通讯作者：
西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫

Relationship between Oxygen Additive Amount and Photoresist Removal Rate Using H Radicals Generated on an Iridium Hot-Wire Catalyst

氧添加量与使用铱热丝催化剂产生的 H 自由基的光刻胶去除率之间的关系

DOI：
10.2494/photopolymer.32.609
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Photopolymer Science and Technology
影响因子：
0.8
作者：
Yamamoto Masashi;Shiroi Tomohiro;Shikama Tomokazu;Nagaoka Shiro;Umemoto Hironobu;Horibe Hideo
通讯作者：
Horibe Hideo

Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst

利用钽热丝催化剂产生的氢自由基去除光刻胶

DOI：
10.1063/1.5124640
发表时间：
2019
期刊：
American Institute of Physics Conference Proceedings
影响因子：
0
作者：
Yamamoto Masashi;Shiroi Tomohiro;Shikama Tomokazu;Nagaoka Shiro;Horibe Hideo
通讯作者：
Horibe Hideo

DOI：
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作者：
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DOI：
10.5650/jos.ess19296
发表时间：
2020
期刊：
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影响因子：
1.5
作者：
Hamada Toshiyuki;Harano Kanako;Niihara Rino;Kitahara Hiromi;Yamamoto Masashi;Vairrapan Charles S.;Tani Fumito;Onitsuka Satoaki;Okamura Hiroaki
通讯作者：
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DOI：
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yamaga Masaya;Takemoto Minoru;Shoji Mayumi;Sakamoto Kenichi;Yamamoto Masashi;Ishikawa Takahiro;Koshizaka Masaya;Maezawa Yoshiro;Kobayashi Kazuki;Yokote Koutaro;山本武
通讯作者：
山本武

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发表时间：
2021
期刊：
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影响因子：
3.2
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Yamazaki Yuta;Kanaji Shingo;Kudo Takuya;Takiguchi Gosuke;Urakawa Naoki;Hasegawa Hiroshi;Yamamoto Masashi;Matsuda Yoshiko;Yamashita Kimihiro;Matsuda Takeru;Oshikiri Taro;Nakamura Tetsu;Suzuki Satoshi;Otake Yoshito;Sato Yoshinobu;Kakeji Yoshihiro
通讯作者：
Kakeji Yoshihiro

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DOI：
10.1149/ma2005-02/20/757
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yamamoto Masashi;K. Nii;H. Morinaga;A. Teramoto;T. Ohmi
通讯作者：
T. Ohmi

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提出一种利用大气压低温等离子体形成双粗糙结构的方法

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Yamamoto Masashi;Hamasaki Tomoyuki;Sekiguchi Atsushi;Minami Hiroko;Aikawa Masayasu;Horibe Hideo;山本雅史，三谷克己，谷野柊，鹿間共一，岡本治樹，堀邊英夫
通讯作者：
山本雅史，三谷克己，谷野柊，鹿間共一，岡本治樹，堀邊英夫