Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface
立体声表面投影曝光光刻技术研究
基本信息
- 批准号：20K05293
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2020
- 资助国家：日本
- 起止时间：2020-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（17）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Stereophonic projection lithography using parabolic mirrors
使用抛物面镜的立体投影光刻
- DOI：10.1117/12.2597232
- 发表时间：2021
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Horiuchi Toshiyuki;Kobayashi Hiroshi
- 通讯作者：Kobayashi Hiroshi
Patterning-Area Expansion of Parabolic-Mirror Projection Optics for Lithography Using One-Sided and Collimated Illumination
使用单侧准直照明进行光刻的抛物面镜投影光学器件的图案化区域扩展
- DOI：
- 发表时间：2024-09-14
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Toshiyuki Horiuchi;J. Iwasaki;Hiroshi Kobayashi
- 通讯作者：Hiroshi Kobayashi
Demonstration of stereophonic projection lithography using parabolic mirror optics and collimated illumination from one side
使用抛物面镜光学器件和一侧准直照明演示立体投影光刻
- DOI：10.35848/1347-4065/acbbd7
- 发表时间：2023
- 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：Horiuchi Toshiyuki;Iwasaki Jun;Kobayashi Hiroshi
- 通讯作者：Kobayashi Hiroshi
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Horiuchi Toshiyuki其他文献
Performances of Fine-Pitch Lenticular Lens Arrays Fabricated Using Semi-Cylindrical Resist Patterns
使用半圆柱形光刻胶图案制造的细间距柱状透镜阵列的性能
- DOI：
10.2494/photopolymer.32.67 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0.8
- 作者：
Horiuchi Toshiyuki;Kurata Maiko;Miyazawa Satoshi;Yanagida Akira;Kobayashi Hiroshi - 通讯作者：
Kobayashi Hiroshi
Improvement of Hydrophobic Property of Stainless-Steel Plates by Forming Lens-Like Protrusions Similar to Oxalis Leaf Surfaces
通过形成类似酢浆草叶表面的透镜状突起来改善不锈钢板的疏水性能
- DOI：
10.4028/www.scientific.net/kem.813.19 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Horiuchi Toshiyuki;Imon Yoshie;Sumimoto Kazuya;Yanagida Akira;Kobayashi Hiroshi - 通讯作者：
Kobayashi Hiroshi
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通过形成类似酢浆草叶表面的透镜状突起来改善不锈钢板的疏水性能
- DOI：
- 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Horiuchi Toshiyuki; Imon Yoshie; Sumimoto Kazuya; Yanagida Akira; Kobayashi Hiroshi - 通讯作者：
Kobayashi Hiroshi
Two-layer resist process for printing thick patterns by exploiting a maskless projection exposure system using a liquid-crystal-display panel
利用液晶显示面板的无掩模投影曝光系统印刷厚图案的两层抗蚀剂工艺
- DOI：
10.35848/1347-4065/ab7438 - 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Horiuchi Toshiyuki;Okiyama Hayato;Sato Ryuta;Kobayashi Hiroshi - 通讯作者：
Kobayashi Hiroshi
Application of projection lithography using a gradient-index lens array and wet etching to texturing for control of the hydrophobic properties of stainless-steel plates
使用梯度折射率透镜阵列的投影光刻和湿法蚀刻在纹理化中的应用，以控制不锈钢板的疏水性
- DOI：
10.7567/1347-4065/ab0543 - 发表时间：
2019 - 期刊：
- 影响因子：1.5
- 作者：
Horiuchi Toshiyuki;Kazama Yuta;Yoshida Hiroya;Yanagida Akira;Kobayashi Hiroshi - 通讯作者：
Kobayashi Hiroshi
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- 作者：
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Research on fabrication technology of micro-lens arrays utilizing cross section profile control of thick resist patterns
利用厚抗蚀剂图案截面轮廓控制的微透镜阵列制造技术研究
- 批准号：
17K05021 - 财政年份：2017
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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Albert Camus and his world-permanent search for new values and return to the roots-
阿尔贝·加缪和他在世界范围内永恒地寻找新的价值观并回归根源——
- 批准号：
19520235 - 财政年份：2007
- 资助金额：
$ 2.83万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)