Development of Si doped DLC film deposition technology for high-precision Si dopping and elucidation of mechanism of low friction

高精度Si掺杂Si DLC薄膜沉积技术的开发及低摩擦机理的阐明

基本信息

  • 批准号:
    20K04187
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.75万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2020
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2020-04-01 至 2023-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
メッシュを用いた PBII&D 法におけるプラズマ計測
使用网格进行 PBII&D 方法中的等离子体测量
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    柳 才智;池永 訓昭
  • 通讯作者:
    池永 訓昭
メッシュを用いた PBII&D 法における DLC 膜厚均一性の改善
使用网格改善 PBII&D 方法中 DLC 膜厚均匀性
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    浦 尚輝;池永 訓昭
  • 通讯作者:
    池永 訓昭
Fe2O3を用いた高温環境用感湿材料の検討
Fe2O3高温环境湿敏材料的研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    内藤光佑;佐々木恭平;池永訓昭
  • 通讯作者:
    池永訓昭
ステンレスメッシュを用いたプラズマの高密度化
使用不锈钢网的高密度等离子体
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    佐藤 凌;李 渊;田中康平・池永訓昭・中川嵩也・高橋宏典
  • 通讯作者:
    田中康平・池永訓昭・中川嵩也・高橋宏典
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ikenaga noriaki其他文献

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Elucidation of mechanism of high heat resistance on Si doped DLC film for design the functionality of DLC film
阐明Si掺杂DLC薄膜的高耐热机理,用于设计DLC薄膜的功能
  • 批准号:
    16K05991
  • 财政年份:
    2016
  • 资助金额:
    $ 2.75万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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Understand the mechanism and development of metal composite DLC films for high heat resistance utilizing dual-plasma
了解利用双等离子体实现高耐热金属复合DLC薄膜的机理和发展
  • 批准号:
    25820014
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    $ 2.75万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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