Picometer positioning control in air by ultra-high resolution displacement measurement and drive system

通过超高分辨率位移测量和驱动系统进行皮米级空气定位控制

• 批准号: 20H02042
• 负责人: AKETGAWA MASATO
• 金额: $ 11.73万
• 依托单位: Nagaoka University of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20H02042/
• 关键词: 干渉計; ステップ変位; 超安定ステージ; ノイズフロア; pm; 環境要因; 正弦波位相変調; 復調; コムフィルタ; 高速倫理回路; 光学干渉計; ピコメートル; 空気揺らぎ; 位置決め; アクチュエータ

项目成果

ハノイ工科大学(ベトナム)

河内科技大学（越南）

Displacement measuring interferometer for sub-nano meter resolution

亚纳米级分辨率的位移测量干涉仪

• DOI: 10.1016/j.measen.2021.100336
• 发表时间: 2021
• 期刊: Measurement: Sensors
• 作者: Higuchi;M.;Wei;D.;Aketagawa;M.
• 通讯作者: M.

Field Programmable Gate Arrayを用いた高速正弦波位相変調干渉計の開発

利用现场可编程门阵列开发高速正弦相位调制干涉仪

• 发表时间: 2023
• 作者: Takahiro Shimada;Kairi Masuda;Youhei Hagiwara;Naoki Ozaki;Tao Xu;Jie Wang;and Takayuki Kitamura;伊藤佑太，木村康裕，徳悠葵，巨陽;片桐且成・明田川正人・樋口雅人・佐藤 拓
• 通讯作者: 片桐且成・明田川正人・樋口雅人・佐藤 拓

19-picometer mechanical step displacement measurement using heterodyne interferometer with phase-locked loop and piezoelectric driving flexure-stage

使用锁相环和压电驱动挠曲台外差干涉仪进行 19 皮米机械步进位移测量

• DOI: 10.1016/j.sna.2020.111880
• 发表时间: 2020
• 期刊: Sensors and Actuators A: Physical
• 作者: Thanh Dong Nguyen;Quang Anh Duong;Masato Higuchi;Thanh Tung Vu;Dong Wei;Masato Aketagawa
• 通讯作者: Masato Aketagawa

10-pm-order mechanical displacement measurements using heterodyne interferometry

使用外差干涉测量法进行 10 pm 级机械位移测量

• DOI: 10.1364/ao.400682
• 发表时间: 2020
• 期刊: Applied Optics
• 影响因子: 1.9
• 作者: Thanh Dong Nguyen;Masato Higuchi;Thanh Tung Vu;Dong Wei;AND Masato Aketagawa
• 通讯作者: AND Masato Aketagawa