Study of Metal Growth Mechanism into Nano-space on Supercritical Nano-Plating

超临界纳米电镀纳米空间金属生长机理研究

基本信息

批准号：
21H01668
负责人：
曽根正人
金额：
$ 11.07万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
起止时间：
2021-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

项目摘要

本提案では、十ナノメートルの微細孔への無欠埋め込みめっきを可能とする超臨界ナノプレーティング（SNP）法を、超臨界電化学反用回転電極セルを創成することにより、電化学及び流体工学的に反解析し金属成長機序を解明し、金属無機・有機材料のナノ空間にナノメートルの無欠かつ均一な金属を被覆可能なめっき金属成長制御の学理を構築することを目的とする。［１］2021年度までに、超臨界二酸化炭素電気化学反応用回転電極セルを設計・製造を作成し、超臨界二酸化炭素を用いた電気化学反応に関する素反応解析に成功した。2022年度にその成果を電気化学のトップジャーナルの一つJournal of The Electrochemical Societyに二報発表できた。この成果をナノ粒子分散のめっき液を用いた電解めっきに応用し、超臨界二酸化炭素分散相をソフト粒子、ナノ粒子をハード粒子とする電析機構モデルを提案できた。この成果をMaterials Chemistry and Physicsに発表した。このように無機材料のナノ空間への金属析出に関する反応機構に関して研究計画に沿った研究実施ができた。同時に論文発表も行っており、2022年まで十分な研究成果が得られている。［２］超臨界二酸化炭素触媒化法による高分子繊維のナノ空間への金属触媒の析出機構に関して固体NMR法による解析に成功した。この研究により超臨界二酸化炭素の繊維のナノ構造への影響と、超臨界二酸化炭素触媒化法による結晶化を見出し、同時にポリマー鎖の分子運動の抑制を直接明らかにすることができた。この成果をThe Journal of Supercritical Fluidsで発表した。

该提案旨在创建一种超临界纳米镀金（SNP）方法，该方法能够在无核电板中进行镀入10个纳米微孔，并创建一个用于超临界电化学导管，电化学和流体工程工程的旋转电极电池，以使抗元素的生长能够构建金属生长机制，并构建金属生长机制，并构建金属的统一机制，并构建金属的理论。金属无机和有机材料的纳米广场。 [1]到2021财年，我们已经为超临界二氧化碳电化学反应设计并创建了一个旋转的电极电池，并成功地分析了使用超临界二氧化碳的电化学反应的基本反应。在2022年，我们能够在电化学学会杂志上宣布这是电化学中最重要的期刊之一。该结果使用纳米颗粒分散的镀层溶液应用于电镀，并提出了沉积机理模型，其中超临界二氧化碳分散相是软颗粒，而纳米颗粒是硬颗粒。这项成就已提交给材料化学和物理学。因此，研究计划是根据研究计划进行的，涉及纳米空间中无机材料的反应机理。同时，也发表了论文，并获得了足够的研究结果，直到2022年。[2]固态NMR成功地执行了金属催化剂将金属催化剂沉积到聚合物纤维纳米空间中的机理。这项研究揭示了超临界二氧化碳对纤维纳米结构和通过超临界二氧化碳催化结晶的影响，与此同时，可以直接阐明聚合物链分子运动的抑制。这项成就是在《超临界流体》杂志上提出的。

项目成果

期刊论文数量（44）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Study of Pt/PET Composite Fiber Prepared by Supercritical CO2 Catalyzation

超临界CO2催化制备Pt/PET复合纤维的研究

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
M. Mitsumoto;W.T. Chiu;C.Y. Chen;T.F.M. Chang;A. Jinno;H. Kurosu;Y. Watanabe;M. Sone
通讯作者：
M. Sone

Micro-Mechanical Property of Single Crystal Gold for Applications in Microelectronics

单晶金的微机械性能在微电子领域的应用

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Kazuya Fujita ; Kosuke Suzuki ; Chun-Yi Chen ; Tso-Fu Mark Chang ; Hiroyuki Ito ; Katsuyuki Machida ; Kazuya Masu ; Masato Sone
通讯作者：
Masato Sone

Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys toward Design of MEMS Component

用于 MEMS 元件设计的金镍合金微机械性能评估

DOI：
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
0
作者：
Takumi Akiyama ; Chun-Yi Chen ; Tso-Fu Mark Chang ; Daisuke Yamane ; Hiroyuki Ito ; Katsuyuki Machida ; Kazuya Masu ; Masato Sone
通讯作者：
Masato Sone

A Non-Distructive Resoneance Frequency Method to determine Effective young's Modulus of 3-Dimentional Multilayered Ti/Au Micro-cantilevers Toward Highly Sensitive MEMS Accerelometer

一种确定高灵敏度 MEMS 加速度计 3 维多层 Ti/Au 微悬臂梁有效杨氏模量的非破坏性谐振频率方法

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
Masato Sone;Hitomi Watanabe;Kyotaro Nitta;Hideaki Nakajima;Tomoyuki Kurioka;Chun-Yi Chen;Parthojit Chakraborty;Daisuke Yamane;Hiroyuki Ito;Katsuyuki. Machida;Yoshihiro Miyake;Tso-Fu Mark Chang.
通讯作者：
Tso-Fu Mark Chang.

The Structure and Micro-Mechanical Properties of Electrodeposited Cobalt Films by Micro-Compression Test