Entwicklung von Abscheidemodellen für die DBD an ausgewählten Systemen

在选定系统上开发 DBD 分离模型

• 批准号: 213099213
• 负责人: Professor Dr. Claus-Peter Klages
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Oberflächentechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2011-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/213099213?language=en
• 关键词: Entwicklung; von; Abscheidemodellen; die; DBD

Auf der Basis von Experimenten zur DBD-aktivierten Atmosphärendruck-CVDAbscheidung von Schichten aus ausgewählten Prekursoren und der numerischen Simulation von Strömung, Diffusion und Reaktion in DBD-Abscheidereaktoren sollen reduzierte Reaktionsmodelle abgeleitet werden, die eine Optimierung des Reaktordesigns im Hinblick auf die Gas- bzw. Prekursorausnutzung ermöglichen. Weitestgehend sollen dafür Methoden der kombinatorischen Oberflächentechnik Anwendung finden und teilweise erforscht werden. Untersucht wird die Schichtabscheidung aus den Prekursoren TEOS bzw. TMOS, HMDSO und evt. HMDSN, aus Aminen sowie GMA. Dafür wird ein Abscheidungsreaktor genutzt, der die Erzeugung eines Zusammensetzungsgradienten in der Gasphase ermöglicht. Für die Bestimmung von Schichtdicken und die Ermittlung zusammensetzungsrelevanter Daten werden in erster Linie FTIR-Spektroskopie (externe Reflexion) sowie GDOES-Spektroskopie eingesetzt; ergänzt durch chemische Derivatisierung bzw. Versuche zum Quellverhalten in Lösungsmitteln zur Bestimmung des Vernetzungsgrades. Punktuell werden weitere Untersuchungen zur Schichtzusammensetzung oder -struktur mit anderen Methoden wie XPS, EPMA oder SIMS durchgeführt.

DBD-ABScheiderian大气的奥地利基础是模拟的主要来源，并且在DBD-Abscheiderian Sollen Reduzierte sollen Reduzierte reaktions中的扩散和延伸，在DBD-ABSCHEIRIAN中的扩散率reaktions reakties ReakTordesigns是Hinblick Auf Die Gasbzw.的主要来源。前库尔斯和坚果剧集Ermöglichen。 The Jogeestgehen sollendafür该方法适用于Oberflächentechnik，并为世界找到了最好的挑逗。世界上最好的是最好的。 TMO，HMDSO和EVT。 HMDSN和GMA是世界上最好的。世界上最好的是世界上最好的。 Ermittlung Zumamensetzungsrelevanter Daten Werden在Erster linie ftir-Spektroskopie（Externe反射）Sowie gdoies gdoes-spektroskopie eingesetzt;荷兰Chemische derivatisierung bzw. LösungsmittelnZur bestimmung des Vernetzungsgrades中的Zumamensetzungs versusche Zumamensetzungs。 Punktull Werden Untersuchungen Zur Schichtzusamensetzung Oder -struktur Mit Anderen方法Wie XPS，Epma Oder SimsDurchgeführt。

项目成果

Plasma nitrogenation of polymer surfaces with a new type of combinatorial plasma‐printing reactor

使用新型组合等离子体打印反应器对聚合物表面进行等离子体氮化

• DOI: 10.1002/ppap.201600137
• 发表时间: 2016
• 期刊: Plasma Processes and Polymers
• 影响因子: 3.5
• 作者: S. Kotula;M. Lüdemann;J. Philipp;M. Thomas;C.-P. Klages
• 通讯作者: C.-P. Klages

Plasma Polymerization at Atmospheric Pressure with a New Type of DBD Reactor for Combinatorial Studies: Classification of Precursor Concentration Dependencies

用于组合研究的新型 DBD 反应器在大气压下进行等离子体聚合：前体浓度依赖性的分类

• DOI: 10.1002/ppap.201500136
• 发表时间: 2016
• 期刊: Plasma Processes and Polymers
• 影响因子: 3.5
• 作者: J. Philipp;A. K. Czerny;C.-P. Klages
• 通讯作者: C.-P. Klages