In-situ Messung von Oberflächenstrukturen und Untersuchungen zum Einfluss von oberflächenspannungsgetriebenen Stoffströmen bei der Herstellung flüssigphasenapplizierter dünner Schichten

表面结构的原位测量以及表面张力驱动的材料流在液相薄层生产中的影响研究

• 批准号: 183607428
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Wilhelm Schabel
• 金额: --
• 依托单位: Bereich Thin Film Technology
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/183607428?language=en
• 关键词: situ; Messung; von; Oberfl; chenstrukturen

Aus dünn aufgetragenen, flüssigphasenapplizierten Polymerlösungen werden viele hochwertige funktionale Beschichtungen hergestellt. Hierbei sind die Anforderungen an Struktur und Homogenität der Filmoberfläche sehr hoch. Viele Einflussgrößen sind bekannt, jedoch ihre Auswirkungen auf die Struktur der trockenen Filmoberfläche und welche Randeffekte man bei kleinen lateralen Strukturen dadurch zu erwarten hat, sind noch nicht verstanden. Es wird davon ausgegangen, dass die Beeinflussung überwiegend aufgrund von oberflächen-spannungsgetriebenen Stoffströmen erfolgt, und man beobachtet als Ergebnis Inhomogenitäten in der fertigen Schicht. Es gibt bis dato nur sehr wenige grundlegende Untersuchungen dazu, insbesondere für Polymerlösungen fehlt es an aussagekräftigen Messdaten. In-situ Experimente, aus denen der Zeitpunkt des Auftretens und die Ausbildung derartiger Strukturen während des Prozesses eindeutig bestimmt werden können, fehlen dazu gänzlich.Die meisten durchgeführten Forschungsarbeiten, die sich mit den Triebkräften für oberflächenspannungsgetriebene Stoffströme beschäftigen, betrachten dabei in erster Linie den Einfluss der Temperatur. Nur einige Arbeiten findet man in der Literatur und in den laufenden Forschungsarbeiten zum Einfluss der Zusammensetzung, dann jedoch separat und unabhängig von Temperatureffekten berücksichtigt. Bei der Herstellung flüssigphasenapplizierter, dünner Schichten treten die beobachteten Effekte jedoch parallel auf, beeinflussen sich gegenseitig und führen zu gekoppelten Temperatur- und Zusammensetzungsverteilungen in der Schicht. Hierzu findet man in den derzeit laufenden Forschungsarbeiten keine abschließende Bewertung, im Wesentlichen aus Mangel an geeigneten Messmethoden und experimentellen Messdaten, welche als fundierte Grundlage für die komplexen Modellrechnungen hierfür erforderlich sind. Ziel dieses Forschungsvorhabens ist die systematische Untersuchung der Entstehung von Oberflächenstrukturen nach der Flüssigphasenapplikation dünner Schichten. Die experimentellen Befunde des Forschungsvorhabens dienen als Grundlage für die Erweiterung bestehender Modellrechnung zur Filmtrocknung und den Ausbau der komplexen, modellhaften Beschreibung der beobachteten Phänomene.

AusDünnAufgetragenen，FlüssigphaposenappliziertenPolymerlösungenWerdenviele viele hochwertige funktienale beschichtungen hergeSellt。 Hierbei Sind Die Anforderungen a struktur undandogogenitätderfilmoberflächesehr hoch。 VieleEinflussgrößenSind Bekannt，Jedoch Ihre Auswirkungen auf Die die struktur der trockenen fillockenenfilmoberfläche和welche and welche randeffekte man bei kleinen bei kleinen strukturen strukturen dadurend dadurch zu zu erwarten hat，sind noch noch noch noch noich nicht verandanten。 Es Wird Davon Ausgegangen，Dass DiebeeinflussungüberwiegendAufgrund vonOberflächen-SpannungsgetriebenenStoffströmenErfolgt，und Man beobachtet als Ergebnis ergebnisinhomogenitäten在Derigen Schicht的Derigenschicht中。 Es Gibt bis dato nur sehr wenige grundlegende untersuchungen dazu，insbesonderefürpolymerlösungenfehlt esAussagekräftigenMessdaten。原地实验，澳大利亚的澳大利亚州最好的，世界上最好的，世界上最好的，正在晋升和世界上最好的。世界上最好的是最好的，世界也是一个胜任的好地方，世界也是找到世界上最好的世界的好方法。北京一直在努力理解温度的重要性。北京一直在努力理解这种情况，Schichten的平行AUF，Zusammensetzung的温度以及Zusammensetzungsverteilungen的温度。 Forschungsarbeiten keineabschließendebewertung，Im Wesentlichen aus mangel a geeigneten messmethoden and Prassimentellen Messdaten，welche als fundierte fundierte fuldierte grundlagefürdie komplexen die komplexenmodellrechnungenhierfürErfforforfullichsind sind sind sind。 Ziel Dieses Forschungsvorhabens Ist Die Systematische untersuchung der Entstehung vonoberflächenstrukturennach derflüssigphasenapplikationDünnerSchichten。 Die Experimentellen befunde des forschungsvorhabens是模型最好的最好的模型，模型的最佳模型，最佳模型Rechnung，模型的最佳模型，模型，模型最好的Rechnung。