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Sm-doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 Sputter-Epitaxy on Si Towards Giant-Piezoelectric Thin Film for Mems

用于MEMS的Sm掺杂Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3溅射外延硅薄膜

基本信息

DOI:
10.1109/mems51782.2021.9375393
发表时间:
2021
期刊:
Proceedings of 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子:
--
通讯作者:
Tanaka Shuji
中科院分区:
文献类型:
--
作者: Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
来源链接:pubmed详情页地址

文献摘要

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关联基金

Creation of Giant Piezoelectric Transducer Thin Film with High Curie Point and Breaking Performance Limit of Piezoelectric MEMS
批准号:
19K05231
批准年份:
2019
资助金额:
2.75
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Tanaka Shuji
通讯地址:
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所属机构:
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电子邮件地址:
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