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Multifunction surface measurement system based on focusing optical stylus interference and confocal image

基于聚焦光针干涉和共焦图像的多功能表面测量系统

基本信息

DOI：
10.1117/12.2181402
发表时间：
2015-03
期刊：
Proc. of SPIE
影响因子：
--
通讯作者：
Xie Tiebang
中科院分区：
其他
文献类型：
--
作者： Zhao Shuling;Chang Suping;Sun Yanling;Xie Tiebang研究方向： -- MeSH主题词： --
关键词： --
来源链接：pubmed详情页地址

文献摘要

In this paper a multifunction surface measurement system based on focusing optical stylus interference and confocal image is researched. This system is designed on the structure of optical interference microscopy and could accomplish two measurement funct
本文研究了一种基于聚焦光针干涉和共焦图像的多功能表面测量系统。该系统基于光学干涉显微镜结构设计，能够实现两种测量功能。
参考文献（2）
被引文献（1）
Confocal Laser Scanning Microscopy and its Applications in Research on Sexual Plant Reproduction
DOI：
10.1007/978-3-642-77677-9_23
发表时间：
1992
期刊：
影响因子：
0
作者：
E. Pierson;A. Rennoch
通讯作者：
E. Pierson;A. Rennoch
Recent advances in interferometric optical testing
DOI：
发表时间：
1985
期刊：
Laser focus
影响因子：
0
作者：
J. Wyant;K. Creath
通讯作者：
J. Wyant;K. Creath

数据更新时间：{{ references.updateTime }}

关联基金

钢板毛化表面形貌特征的区域法分析和评定理论的研究
批准号：
51205147
批准年份：
2012
资助金额：
25.0
项目类别：
青年科学基金项目
Xie Tiebang
通讯地址:
--
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--
电子邮件地址：
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