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Characteristics of doping controllable ZnO films grown by photo-assisted metal organic chemical vapor deposition

光辅助金属有机化学气相沉积可控掺杂ZnO薄膜的特性

基本信息

DOI：
10.1364/ome.7.001281
发表时间：
2017-04
期刊：
OPTICAL MATERIALS EXPRESS
影响因子：
2.8
通讯作者：
Xia Xiao-Chuan
中科院分区：
材料科学3区
文献类型：
--
作者： Feng Tian-Hong;Xia Xiao-Chuan研究方向： -- MeSH主题词： --
关键词： --
来源链接：pubmed详情页地址

文献摘要

Arsenic doped p-type ZnO films are prepared by the photo-assisted metal organic chemical vapor deposition method. Using the photo-assisted technique, the acceptor activation process is simplified. The arsenic doping level, which decides the carrier distri
采用光辅助金属有机化学气相沉积法制备了砷掺杂的p型氧化锌薄膜。利用光辅助技术，简化了受主激活过程。砷的掺杂水平决定了载流子分布……
参考文献（25）
被引文献（7）
Homogeneous transparent conductive ZnO:Ga by ALD for large LED wafers
DOI：
10.1016/j.apsusc.2016.04.081
发表时间：
2016-08
期刊：
Applied Surface Science
影响因子：
6.7
作者：
Z. Szabó;Z. Baji;P. Basa;Z. Czigány;I. Bársony;H. Wang;J. Volk
通讯作者：
Z. Szabó;Z. Baji;P. Basa;Z. Czigány;I. Bársony;H. Wang;J. Volk
Properties of arsenic-doped p-type ZnO grown by hybrid beam deposition
DOI：
10.1063/1.1590423
发表时间：
2003-06
期刊：
Applied Physics Letters
影响因子：
4
作者：
Y. Ryu;T. S. Lee;H. White
通讯作者：
Y. Ryu;T. S. Lee;H. White
Oxygen interstitial mediated effective doping of Al in ZnO:Al films prepared by magnetron sputtering
DOI：
10.1016/j.matlet.2016.05.072
发表时间：
2016-09
期刊：
Materials Letters
影响因子：
3
作者：
Shiliu Yin;Jieni Li;M. Shirolkar;M. Li;Haiqian Wang
通讯作者：
Shiliu Yin;Jieni Li;M. Shirolkar;M. Li;Haiqian Wang
Growth of arsenic doped ZnO films using a finite surface doping source by metal organic chemical vapor deposition
利用有限表面掺杂源通过金属有机化学气相沉积生长砷掺杂 ZnO 薄膜
DOI：
10.1364/ome.6.003733
发表时间：
2016-12
期刊：
OPTICAL MATERIALS EXPRESS
影响因子：
2.8
作者：
Feng Tian-Hong;Xia Xiao-Chuan
通讯作者：
Xia Xiao-Chuan
A reproducible route to p-ZnO films and their application in light-emitting devices.
DOI：
10.1364/ol.36.000499
发表时间：
2011-02
期刊：
Optics letters
影响因子：
3.6
作者：
Fu Sun;Chong-Xin Shan;Bo-Tao Li;Z. Z. Zhang-Z.;Dezhen Shen;Zanyun Zhang;Dianyuan Fan
通讯作者：
Fu Sun;Chong-Xin Shan;Bo-Tao Li;Z. Z. Zhang-Z.;Dezhen Shen;Zanyun Zhang;Dianyuan Fan

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关联基金

生物电磁成像中一类非线性椭圆型方程反问题的数值分析与计算
批准号：
11601069
批准年份：
2016
资助金额：
19.0
项目类别：
青年科学基金项目
Xia Xiao-Chuan
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