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固溶限を超えるSn組成を有するGe1-xSnx層中におけるSn原子の熱安定性

Sn成分超过固溶度极限的Ge1-xSnx层中Sn原子的热稳定性

基本信息

DOI:
--
发表时间:
2014
期刊:
特別研究会「ゲートスタック研究会―材料. プロセス・評価の物理―」(第19回研究報告会)
影响因子:
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通讯作者:
財満 鎭明
中科院分区:
文献类型:
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作者: 加藤 公彦;浅野 孝典;田岡 紀之;坂下 満男;竹内 和歌奈;中塚 理;財満 鎭明研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
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文献摘要

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关联基金

Design of Electronic Properties and Development of High-Mobility Channel Technology for Low Power/High-Speed Nano-CMOS Devices
批准号:
22000011
批准年份:
2010
资助金额:
286.71
项目类别:
Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
財満 鎭明
通讯地址:
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所属机构:
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