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Metrology of Periodic 3D Nanostructures using Spectroscopic Scatterometry

使用光谱散射测量法进行周期性 3D 纳米结构计量

基本信息

DOI:
--
发表时间:
2023
期刊:
Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication​
影响因子:
--
通讯作者:
Chang, Chih-Hao
中科院分区:
文献类型:
--
作者: Lee, Sang Lee;Chien, Kun-Chieh;Groh, Barbara;Cullinan, Michael;Chang, Chih-Hao研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
来源链接:pubmed详情页地址

文献摘要

参考文献(0)
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关联基金

FMRG: Cyber: Manufacturing USA: Cyber-Enabled, High-Throughput Manufacturing of Multi-Material, 3D Nanostructures
批准号:
2229036
批准年份:
2022
资助金额:
299.97
项目类别:
Continuing Grant
Chang, Chih-Hao
通讯地址:
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所属机构:
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电子邮件地址:
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