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保井秀彦, 山本晃生, 樋口俊郎: "真空環境用静電リニアモータの開発"2O02年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (発表予定). (未定). (2002)

安井英彦、山本昭夫、樋口敏郎:“真空环境下的静电直线电机的开发”2002 年精密工程学会春季会议学术讲座论文集(待发表)(待发表)。

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关联基金

High-power electrostatic levitation linear motor for ultra-clean and vacuum environment
批准号:
12355011
批准年份:
2000
资助金额:
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项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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