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Microplasma direct writing of a copper thin film in the atmospheric condition with a novel copper powder electrode

新型铜粉电极在大气条件下微等离子体直写铜薄膜

基本信息

DOI:
10.1002/ppap.202000034
发表时间:
2020-04
影响因子:
3.5
通讯作者:
Jingquan Liu
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者: Tao Wang;Li Lv;Liping Shi;Baohong Tong;Xingquan Zhang;Guotao Zhang;Jingquan Liu研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
来源链接:pubmed详情页地址

文献摘要

参考文献(28)
被引文献(6)
Influence of air diffusion on the OH radicals and atomic O distribution in an atmospheric Ar (bio)plasma jet
DOI:
10.1088/0963-0252/23/1/015015
发表时间:
2014-02
期刊:
Plasma Sources Science and Technology
影响因子:
3.8
作者:
A. Nikiforov;L. Li;N. Britun;R. Snyders;P. Vanraes;C. Leys
通讯作者:
A. Nikiforov;L. Li;N. Britun;R. Snyders;P. Vanraes;C. Leys
Direct writing of metal film via sputtering of micromachined electrodes
DOI:
10.1016/j.jmatprotec.2018.06.028
发表时间:
2018-12
期刊:
Journal of Materials Processing Technology
影响因子:
6.3
作者:
A. Abdul-wahed;A. Roy;Zhiming Xiao;K. Takahata
通讯作者:
A. Abdul-wahed;A. Roy;Zhiming Xiao;K. Takahata
Direct writing of thin and thick metal films via micro glow plasma scanning
DOI:
10.1109/memsys.2016.7421656
发表时间:
2016-02
期刊:
2016 IEEE 29th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子:
0
作者:
A. Abdul-wahed;A. Roy;Zhiming Xiao;K. Takahata
通讯作者:
A. Abdul-wahed;A. Roy;Zhiming Xiao;K. Takahata
Electrical conductivity of copper nanoparticle thin films annealed at low temperature
DOI:
10.1016/j.tsf.2010.07.023
发表时间:
2010-09-30
期刊:
THIN SOLID FILMS
影响因子:
2.1
作者:
Yabuki, Akihiro;Arriffin, Norzafriza
通讯作者:
Arriffin, Norzafriza
Current trends in patterning with copper.
DOI:
10.1021/cr0104476
发表时间:
2002-04
期刊:
Chemical reviews
影响因子:
62.1
作者:
J. Rickerby;J. Steinke
通讯作者:
J. Rickerby;J. Steinke

数据更新时间:{{ references.updateTime }}

关联基金

聚合物薄膜的大气微冷等离子体射流图案化刻蚀机理与方法研究
批准号:
51905002
批准年份:
2019
资助金额:
27.0
项目类别:
青年科学基金项目
Jingquan Liu
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--
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电子邮件地址:
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