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Optical and Mechanical Properties of Transparent Conductive Al-Doped ZnO Films Deposited by the Sputtering Method

溅射法沉积透明导电Al掺杂ZnO薄膜的光学和机械性能

基本信息

DOI:
10.1088/0256-307x/29/3/038103
发表时间:
2012-03
影响因子:
3.5
通讯作者:
王守宇
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者: 竺云;王越;宛鹏菲;李洪玉;王守宇研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
来源链接:pubmed详情页地址

文献摘要

Al-doped ZnO transparent conductive oxide thin films (AZO) are prepared by the magnetron sputtering method. The structural, optical and mechanical properties of the AZO films are studied systematically. The average haze of the AZO sample is increased from
采用磁控溅射法制备了铝掺杂氧化锌透明导电氧化物薄膜(AZO)。系统地研究了AZO薄膜的结构、光学和机械性能。AZO样品的平均雾度从……增加。
参考文献(26)
被引文献(11)
Effect of process parameters on the characteristics of indium tin oxide thin film for flat panel display application
DOI:
10.1016/s0040-6090(96)09581-8
发表时间:
1997-06-20
期刊:
THIN SOLID FILMS
影响因子:
2.1
作者:
Lee, BH;Kim, IG;Lee, SH
通讯作者:
Lee, SH
Effects of ZnO buffer layer on the optoelectronic performances of GZO films
DOI:
10.1016/j.solmat.2007.11.013
发表时间:
2008-05
期刊:
Solar Energy Materials and Solar Cells
影响因子:
6.9
作者:
C. Hsu;C. Tsang
通讯作者:
C. Hsu;C. Tsang
Plasticity and strength of micro- and nanocrystalline materials
DOI:
10.1134/s1063783407060017
发表时间:
2007-06
期刊:
Physics of the Solid State
影响因子:
0.6
作者:
G. A. Malygin
通讯作者:
G. A. Malygin
Low resistivity transparent conducting Al-doped ZnO films prepared by pulsed laser deposition
DOI:
10.1016/s0040-6090(03)01158-1
发表时间:
2003-12-15
期刊:
THIN SOLID FILMS
影响因子:
2.1
作者:
Agura, H;Suzuki, A;Okuda, M
通讯作者:
Okuda, M
Improvement of hole injection in phenyl-substituted electroluminescent devices by reduction of oxygen deficiency near the indium tin oxide surface
DOI:
10.1063/1.1484544
发表时间:
2002-06
期刊:
Applied Physics Letters
影响因子:
4
作者:
B. Low;F. Zhu;Keran Zhang;S. Chua
通讯作者:
B. Low;F. Zhu;Keran Zhang;S. Chua

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王守宇
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