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Fabrication and Evaluation of Thin-Film Spiral-Antenna-Coupled VOx Microbolometer by Metal-Organic Decomposition

基本信息

DOI：
10.7567/jjap.52.046601
发表时间：
2013-04-01
期刊：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
影响因子：
1.5
通讯作者：
Uchida, Takashi
中科院分区：
物理与天体物理4区
文献类型：
Article
作者： Le Ngoc Son;Tachiki, Takashi;Uchida, Takashi研究方向： -- MeSH主题词： --
关键词： --
来源链接：pubmed详情页地址

文献摘要

A VOx microbolometer coupled with thin-film spiral antenna was fabricated on a fused-quartz substrate by metal-organic decomposition ( MOD). The size of the bolometer was 1 x 52 mu m(2), and the antenna was designed for operating at 75-110 GHz. The DC sensitivity and responsivity of the bolometer were 540W(-1) and 124V/W at the bias current of 0.5mA under the irradiation of a 94 GHz electromagnetic wave, respectively. These values were over one order higher than those of the Bi microbolometer, which is conventionally utilized as a detector in terahertz and infrared regions. The antenna-coupled VOx microbolometer with a high responsivity was realized by MOD. (C) 2013 The Japan Society of Applied Physics
通过金属有机分解（MOD）法在熔融石英衬底上制备了一种与薄膜螺旋天线耦合的氧化钒（VOx）微测辐射热计。该测辐射热计的尺寸为1×52μm²，天线设计用于在75 - 110 GHz频率下工作。在94 GHz电磁波照射下，偏置电流为0.5 mA时，该测辐射热计的直流灵敏度和响应率分别为540 W⁻¹和124 V/W。这些数值比通常在太赫兹和红外区域用作探测器的铋微测辐射热计的相应数值高出一个数量级以上。通过MOD实现了具有高响应率的天线耦合VOx微测辐射热计。（C）2013日本应用物理学会
参考文献（18）
被引文献（0）

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关联基金

Fabrication of thin-film-type terahertz-wave oscillators using intrinsic Josephson junctions
批准号：
23560381
批准年份：
2011
资助金额：
3.41
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Uchida, Takashi
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