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Feedthrough parasitic nonlinear resonance in micromechanical oscillators

微机械振荡器中的馈通寄生非线性谐振

基本信息

DOI：
10.1063/5.0018696
发表时间：
2020-09
期刊：
Applied Physics Letters
影响因子：
4
通讯作者：
Jin Xie
中科院分区：
物理与天体物理2区
文献类型：
--
作者： Dongyang Chen;Hemin Zhang;Jiangkun Sun;Guillermo Sobreviela;Yong Wang;Ashwin Seshia;Jin Xie研究方向： -- MeSH主题词： --
关键词： --
来源链接：pubmed详情页地址

文献摘要

Mechanical oscillators incorporating miniaturized structures to transduce mesoscopic motion as readable electrical signals are often limited by the feedthrough effect (FE) because oscillation features are corrupted. The knowledge of FE parasitic resonance
采用微型结构将介观运动转换为可读电信号的机械振荡器，常常因馈通效应（FE）而受限，因为振荡特性遭到破坏。关于FE寄生共振的知识……
参考文献（34）
被引文献（7）
Advanced CMOS–MEMS Resonator Platform
DOI：
10.1109/led.2011.2175695
发表时间：
2012-02
期刊：
IEEE Electron Device Letters
影响因子：
4.9
作者：
Cheng-Syun Li;Li-Jen Hou;Sheng-Shian Li
通讯作者：
Cheng-Syun Li;Li-Jen Hou;Sheng-Shian Li
Single-Device and On-Chip Feedthrough Cancellation for Hybrid MEMS Resonators
DOI：
10.1109/tie.2011.2180274
发表时间：
2012-12
期刊：
IEEE Transactions on Industrial Electronics
影响因子：
7.7
作者：
Yuanjie Xu;Joshua E-Y Lee
通讯作者：
Yuanjie Xu;Joshua E-Y Lee
Optomechanical device actuation through the optical gradient force
DOI：
10.1038/nphoton.2010.72
发表时间：
2010-04-01
期刊：
NATURE PHOTONICS
影响因子：
35
作者：
Van Thourhout, Dries;Roels, Joris
通讯作者：
Roels, Joris
An integrated CMOS micromechanical resonator high-Q oscillator
DOI：
10.1109/4.753677
发表时间：
1999-04-01
期刊：
IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS
影响因子：
5.4
作者：
Nguyen, CTC;Howe, RT
通讯作者：
Howe, RT
Direct parameter extraction in feedthrough-embedded capacitive MEMS resonators
DOI：
10.1016/j.sna.2011.02.016
发表时间：
2011-06-01
期刊：
SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
影响因子：
4.6
作者：
Lee, Joshua E. -Y.;Seshia, Ashwin A.
通讯作者：
Seshia, Ashwin A.

数据更新时间：{{ references.updateTime }}

关联基金

基于高阶多模态可调机理的MEMS静电谐振器及谐振式传感器研究
批准号：
51875521
批准年份：
2018
资助金额：
60.0
项目类别：
面上项目
Jin Xie
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