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Modeling of Inner Surface Modification of a Cylindrical Tube by Plasma-Based Low-Energy Ion Implantation

基于等离子体的低能离子注入对圆柱管内表面改性的建模

基本信息

DOI：
10.1088/1009-0630/17/4/09
发表时间：
2015-04
期刊：
Plasma Science and Technology
影响因子：
1.7
通讯作者：
雷明凯
中科院分区：
物理与天体物理3区
文献类型：
--
作者： B.C. Zheng;K.S. Wang;雷明凯研究方向： -- MeSH主题词： --
关键词： --
来源链接：pubmed详情页地址

文献摘要

The inner surface modification process by plasma-based low-energy ion implantation (PBLEII) with an electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma source located at the central axis of a cylindrical tube is modeled to optimize the low-energy ion impl
对基于等离子体的低能离子注入（PBLEII）的内表面改性工艺进行了建模，该工艺采用位于圆柱形管中心轴的电子回旋共振（ECR）微波等离子体源，以优化低能离子注入。
参考文献（25）
被引文献（1）
Characterization of surface microstructure and properties of low-energy high-dose plasma immersion ion-implanted 304L austenitic stainless steel
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2004.06.035
发表时间：
2005-12
期刊：
Surface & Coatings Technology
影响因子：
5.4
作者：
K. Rao;S. Mukherjee;P. M. Raole;I. Manna
通讯作者：
K. Rao;S. Mukherjee;P. M. Raole;I. Manna
Collisional sheath dynamics
DOI：
10.1063/1.359304
发表时间：
1995-05
期刊：
Journal of Applied Physics
影响因子：
3.2
作者：
T. E. Sheridan;M. Goeckner
通讯作者：
T. E. Sheridan;M. Goeckner
Plasma Low-Pressure Nonsteady Diffusion Fluid Model for Pulsed Plasma Recovery
DOI：
10.1109/tps.2012.2231704
发表时间：
2013
期刊：
IEEE Transactions on Plasma Science
影响因子：
1.5
作者：
Yi Li;B. Zheng;M. Lei
通讯作者：
Yi Li;B. Zheng;M. Lei
Short pulse plasma immersion ion implantation of oxygen into silicon: determination of the energy distribution
DOI：
10.1016/s0257-8972(97)00052-2
发表时间：
1997-09
期刊：
Surface & Coatings Technology
影响因子：
5.4
作者：
N. Barradas;A. Maas;S. Mändl;R. Günzel
通讯作者：
N. Barradas;A. Maas;S. Mändl;R. Günzel
Plasma source ion nitriding: A new low temperature, low‐pressure nitriding approach
DOI：
10.1116/1.579625
发表时间：
1995-11
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
0
作者：
M. Lei;Z. Zhang
通讯作者：
M. Lei;Z. Zhang

数据更新时间：{{ references.updateTime }}

关联基金

奥氏体不锈钢碳梯度过饱和复合改性机制研究
批准号：
51271048
批准年份：
2012
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面上项目
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