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A.YAMAMOTO, H.YASUI, N.SHIMIZU, T.HIGUCHI: "Development of Electrostatic Levitation Motor for Vacuum Condition"Proc. 2003 IEEE International Symposium on Industrial Electronics. (発表予定). (2003)

A.YAMAMOTO、H.YASUI、N.SHIMIZU、T.HIGUCHI:“真空条件下的静电悬浮电机的开发”Proc. 2003 年 IEEE 国际工业电子研讨会(即将发表)。

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文献摘要

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关联基金

High-power electrostatic levitation linear motor for ultra-clean and vacuum environment
批准号:
12355011
批准年份:
2000
资助金额:
27.49
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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