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DESIGN CONCERNS FOR TIP-BASED MEASUREMENT TOWARDS PROCESS METROLOGY IN ROLL-TO-ROLL NANOMANUFACTURING

卷对卷纳米制造中基于尖端测量的工艺计量设计问题

基本信息

DOI:
--
发表时间:
2022
期刊:
37th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering
影响因子:
--
通讯作者:
Cullinan, Michael
中科院分区:
文献类型:
--
作者: Connolly, Liam G.;Groh, Barbara;Garcia, James A.;Cullinan, Michael研究方向: -- MeSH主题词: --
关键词: --
来源链接:pubmed详情页地址

文献摘要

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关联基金

FMRG: Cyber: Manufacturing USA: Cyber-Enabled, High-Throughput Manufacturing of Multi-Material, 3D Nanostructures
批准号:
2229036
批准年份:
2022
资助金额:
299.97
项目类别:
Continuing Grant
Cullinan, Michael
通讯地址:
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所属机构:
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电子邮件地址:
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