基于AFM加工技术的自组装有序纳米微结构形成机理研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:50605012
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:28.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0512.微纳机械系统
- 结题年份:2009
- 批准年份:2006
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2007-01-01 至2009-12-31
- 项目参与者:曹永智; 胡振江; 史立秋; 赵小力; 张顺国; 高彬;
- 关键词:
项目摘要
本项目针对纳米技术和纳米电子器件的发展对自组装有序纳米微结构加工技术的迫切需求,提出了"AFM探针刻蚀技术辅助自组装有序纳米微结构的研究"这一前沿性研究课题。通过AFM探针刻蚀技术制备出带有微米尺度的复杂二维图形和三维结构的基片,然后利用基片上的微米结构结合所施加的外场来引导嵌段共聚物薄膜自组装过程,进而在一定范围内实现有序纳米微结构的排列。这种方法将自上而下的传统机械刻蚀方法和自下而上的自组装方法巧妙地结合起来,一方面拓展了嵌段共聚物自组装有序纳米微结构的丰富性和人为调控长程有序自组装纳米微结构的新途径,另一方面,可以将微米结构与纳米结构有机地组装起来,生成对纳米电子器件有重大意义的自组装有序微米/纳米复合结构,为发展纳米电子器件的加工工艺提供新的手段。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(11)
专著数量(0)
科研奖励数量(1)
会议论文数量(7)
专利数量(0)
Molecular dynamics simulation of subsurface deformed layers in AFM-based nanometric cutting process
基于 AFM 的纳米切削过程中亚表面变形层的分子动力学模拟
- DOI:10.1016/j.apsusc.2008.01.096
- 发表时间:2008-05-30
- 期刊:APPLIED SURFACE SCIENCE
- 影响因子:6.7
- 作者:Zhang, J. J.;Sun, T.;Dong, S.
- 通讯作者:Dong, S.
Effects of scratching directions on AFM-based abrasive abrasion process
划痕方向对基于 AFM 的磨料磨损过程的影响
- DOI:10.1016/j.triboint.2008.05.011
- 发表时间:2009
- 期刊:Tribology International
- 影响因子:6.2
- 作者:Yan, Y. D.;Sun, T.;Liang, Y. C.;Dong, S.
- 通讯作者:Dong, S.
Investigation on AFM-based micro/nano-CNC machining system
基于AFM的微纳米数控加工系统研究
- DOI:10.1016/j.ijmachtools.2007.01.008
- 发表时间:2007-09
- 期刊:International Journal of Machine Tools & Manufacture
- 影响因子:14
- 作者:Dong, Shen;Yan, Yongda;Sun, Tao;Liang, Yingchun
- 通讯作者:Liang, Yingchun
Molecular dynamics study of scratching velocity dependency in AFM-based nanometric scratching process
基于 AFM 的纳米划痕过程中划痕速度依赖性的分子动力学研究
- DOI:10.1016/j.msea.2008.10.049
- 发表时间:2009-04
- 期刊:Materials Science and Engineering A
- 影响因子:--
- 作者:Junjie Zhang, Tao Sun,Yongda Yan,Yingchun Liang
- 通讯作者:Junjie Zhang, Tao Sun,Yongda Yan,Yingchun Liang
Controlled monolayer self-assembly process based on the atomic force microscopy nanoscratching method
基于原子力显微镜纳米划痕法的可控单层自组装过程
- DOI:10.1116/1.3072886
- 发表时间:2009-05
- 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B
- 影响因子:1.4
- 作者:Pan, B.;Yan, Y. D.;Sun, T.;Zhao, J. W.;Dong, S.
- 通讯作者:Dong, S.
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- 期刊:Nanomanufacturing and Metrology
- 影响因子:--
- 作者:王晓乐;韩联欢;闫永达;曹永智
- 通讯作者:曹永智
其他文献
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