外差干涉椭偏测量技术中的非线性误差研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60978041
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    30.0万
  • 负责人：
    邓元龙
  • 依托单位：
    深圳大学
  • 学科分类：
    F0508.应用光学
  • 结题年份：
    2012
  • 批准年份：
    2009
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2010-01-01 至2012-12-31

项目摘要

本项目利用椭偏测量原理和激光外差干涉法，分别采用横向塞曼激光器和声光调制器设计全对称的Mach-Zehnder型干涉仪，实现反射和透射式外差干涉椭偏测量，以解决纳米级厚度薄膜动态、在线测量的问题。针对系统中存在的膜厚测量非线性误差，拟研究激光源、偏振器件、接收电路等环节引入的非线性误差，以及这些误差项之间的相互作用机理和漂移规律，从而进一步完善外差干涉椭偏测量系统的优化设计理论。在此基础上，拟探索采用神经网络补偿非线性误差的方法：采集不同厚度薄膜的实验数据作为学习样本，以温度的变化作为非目标扰动量，采用模糊预测算法离线训练神经网络，使之逼近系统非线性误差综合模型，并利用训练成功后的神经网络权值等参数实现非线性误差的在线补偿。结合其它先进算法，从神经网络类型、结构、学习规则等角度，研究如何提高非线性误差补偿实时性能的方法。

结项摘要

本项目利用椭偏测量原理和激光外差干涉法，分别采用横向塞曼激光器和声光调制器设计全对称的Mach-Zehnder型干涉仪，实现反射和透射式外差干涉椭偏测量，以解决纳米级厚度薄膜动态、在线测量的问题。针对系统中存在的膜厚测量非线性误差，研究了激光源、偏振分光镜、金属反射镜、非偏振分光镜等偏振器件引入的非线性误差，以及这些误差项之间的相互作用机理。明确了主要偏振器件需要达到的性能指标，首次建立了非偏振分光镜的非线性误差模型，完善了外差干涉椭偏测量系统的设计理论。对准精度对非线性误差影响很大，方位角误差一般需要控制在0.01°量级。这些误差项之间是互相耦合的，不能通过常见的误差合成方法，计算膜厚测量总体误差。激光源输出偏振态的不稳定是非线性误差漂移的主要原因。针对空间光路结构的外差干涉椭偏测量系统的不足，本项目还初步研究了基于模间干涉的全光纤结构Mach–Zehnder干涉仪，以提高系统抗干扰能力和稳定性。

项目成果

期刊论文数量（9）
专著数量（0）
科研奖励数量（1）
会议论文数量（0）
专利数量（3）
非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学精密工程
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    邓元龙;李学金;耿优福;洪学明
  • 通讯作者：
    洪学明
High-Sensitivity Mach-Zehnder Interferometric Temperature Fiber Sensor Based on a Waist-Enlarged Fusion Bitaper
基于腰部放大融合双锥度的高灵敏度马赫曾德干涉温度光纤传感器
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Ieee Sensors Journal
  • 影响因子：
    4.3
  • 作者：
    Geng; Youfu;Li; Xuejin;Tan; Xiaoling;Deng; Yuanlong;Yu; Yongqin
  • 通讯作者：
    Yongqin
基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    深圳大学学报(理工版)
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    邓元龙;赵小丽;李学金;耿优福;洪学明;邱成军
  • 通讯作者：
    邱成军
Effect of nonpolarizing beam splitter on measurement error in heterodyne interferometric ellipsometers
非偏振分光镜对外差干涉椭圆偏振仪测量误差的影响
  • DOI：
    10.1088/0957-0233/23/8/085204
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    Measurement Science and Technology
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Deng; Yuan-long;Li; Xue-jin;Geng; You-fu;Hong; Xue-ming
  • 通讯作者：
    Xue-ming
非偏振分光镜对外差干涉仪非线性误差的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    邓元龙;李学金;耿优福;洪学明
  • 通讯作者：
    洪学明

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

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  • 期刊：
    中国科技论文
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    李学金;耿优福;洪学明;邓元龙
  • 通讯作者：
    邓元龙
基于改进LBP和SVM的偏光片外观缺陷检测与分类
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    计算机工程与应用
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    黄广俊;邓元龙
  • 通讯作者：
    邓元龙

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
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{{ item.name }}
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    {{ item.ratify_no }}
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    {{ item.approval_year }}
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    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}

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{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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