纳米磁性液体微致动性能与机理研究

本项目拟在制备出低表观粘度磁性液体的基础上，对磁性液体的微致动性能及机理进行研究。采用饱和磁化强度高的碳包覆铁纳米颗粒作为磁载子，搭配匹配的载液和表面活性剂，合成适用于MEMS器件的低表观粘度磁性液体。自行研制磁场可调的粘度测试装置，研究磁性液体表观粘度的影响因素。利用电化学刻蚀及反应离子刻蚀等微加工技术，研制静态条件下磁性液体微致动力测试装置和动态条件下磁性液体微致动性能测试装置，并对磁性液体的微致动性能进行实验研究。根据实验结果，利用计算机模拟和有限元数值计算等方法，对磁性液体的微致动性能与其特性参数及外加磁场间的理论联系进行分析，为磁性液体MEMS微致动器件的设计开发提供理论依据。磁性液体是一种新型的磁性功能材料，如果利用其能够被磁场控制，又具有良好流动性的特点，作为MEMS的致动源，对于开发更具应用价值的新型MEMS执行器来说具有重要意义。