MEMS微结构动力学特性的尺度效应研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10772086
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:34.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A0812.实验固体力学
- 结题年份:2010
- 批准年份:2007
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2008-01-01 至2010-12-31
- 项目参与者:席占稳; 施芹; 徐业鹏; 徐然; 葛金生; 张志勇;
- 关键词:
项目摘要
"尺度效应"问题是目前微电子机械系统(MEMS)所面临的一个科学难题,已成为制约MEMS发展的一个主要因素。近年来,这个问题开始得到广泛关注,相关研究工作也相继展开。但从国内外文献来看,这些工作目前还主要集中在静态方面,动态方面的研究则很少见。而MEMS器件一般都具有运动部件,而且其失效往往发生在运动部件上。因此,对微结构动力学特性尺度效应的研究显得更为重要,这直接关系到MEMS器件的稳定性和可靠性。本项目将采用现代光学测试技术和方法,并结合(超)声波和PZT激励技术,对微结构动力学特性的微尺度效应进行实验研究;同时采用应变梯度弹性理论、空气动力学理论及振动理论等对微结构的动力学特性进行理论分析,结合实验结果和数值模拟,初步建立微尺度动力学模型。本项目的研究不仅可为逐步完善 MEMS的设计理论提供重要依据,促进我国MEMS产业的发展,同时对微结构动力学的建立和发展也将起到积极的推动作用。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(12)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(7)
专利数量(0)
Nonlinear static characteristic of piezoelectric unimorph bending micro actuators
压电单压电晶片弯曲微促动器的非线性静态特性
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Size effect on the dynamic characterization of piezoelectric micromachined ultrasonic sensors
压电微机械超声波传感器动态特性的尺寸效应
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
显微干涉法在MEMS结构三维形貌测试中的应用.
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:计量学报, July 2009, 30(4): 302-306(EI)
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
基于Cosserat理论的微梁振动特性的尺度效应.
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:机械强度, 2007, 29(1): 1-5 (EI)
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
Dynamic characterization of microstructures by ultrasonic wave excitation.
超声波激励微观结构的动态表征。
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:
- 通讯作者:
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
利用数字散斑相关法测定聚酰亚胺
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:实验力学,20(1):109-114,2005
- 影响因子:--
- 作者:董萼良;康新;陈凡秀等
- 通讯作者:陈凡秀等
大黄附子汤对重症急性胰腺炎肺损伤大鼠肺泡上皮屏障功能的影响
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:中华急诊医学杂志
- 影响因子:--
- 作者:路小光;纪春阳;王小周;LU Xiao-guang;KANG Xin;Zhan Li-bin;GONG Dian-bo;LIU Li;FAN Zhi-wei;BAI Li-zhi;PANG Hong-gang;康新;KANG Li-min;JI Chun-yang;WANG Xiao-zhou;战丽彬;宫殿博;刘莉;范治伟;白黎智;庞宏刚;康利民
- 通讯作者:康利民
一种经肝门静脉注射制备肠源性脓毒症大鼠模型的方法
- DOI:--
- 发表时间:2017
- 期刊:中华卫生应急电子杂志
- 影响因子:--
- 作者:王守军;康新;路晓光;杨轶仑;范治伟;白黎智;宋轶
- 通讯作者:宋轶
大黄附子汤对重症急性胰腺炎早期大鼠肠黏膜机械屏障的影响及其意义
- DOI:--
- 发表时间:2021
- 期刊:中华实验外科
- 影响因子:--
- 作者:杨轶仑;路晓光;战丽彬;康新;宋健博;张栎婧
- 通讯作者:张栎婧
应用多相机三维数字图像相关实现口腔印模的三维重构
- DOI:--
- 发表时间:2015
- 期刊:光学学报
- 影响因子:--
- 作者:董帅;戴云彤;董萼良;康新
- 通讯作者:康新
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}

内容获取失败,请点击重试

查看分析示例
此项目为已结题,我已根据课题信息分析并撰写以下内容,帮您拓宽课题思路:
AI项目摘要
AI项目思路
AI技术路线图

请为本次AI项目解读的内容对您的实用性打分
非常不实用
非常实用
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
您认为此功能如何分析更能满足您的需求,请填写您的反馈:
康新的其他基金
尺度效应下微压电层合结构非线性特性研究
- 批准号:11172138
- 批准年份:2011
- 资助金额:62.0 万元
- 项目类别:面上项目
MEMS结构动力学特性的尺度效应研究
- 批准号:10572060
- 批准年份:2005
- 资助金额:10.0 万元
- 项目类别:面上项目
相似国自然基金
{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}