基于SPM及MEMS技术的薄膜力学性能测试方法研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:10502008
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:28.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:A0805.微纳米力学与多尺度力学
- 结题年份:2008
- 批准年份:2005
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2006-01-01 至2008-12-31
- 项目参与者:伍晓明; 赵伟瑞; 黄涛; 杨轶; 李东平;
- 关键词:
项目摘要
研究一种基于微拉伸(micro-tensile)原理的薄膜力学性能测试方法,以单层及多层自由(free-standing)薄膜为测试对象,以MEMS致动器为加载部件,应变则由扫描探针显微镜(SPM)实时在位测得。藉由微应力及微应变的高分辨率高精度测量,该方法能够大大提高薄膜材料力学性能测试的分辨率和精度。同时,该方法获得的微观材料轴向应力-应变关系数据,可以对其它薄膜力学性能测试方法,特别是现有的大量使用的商用纳米压痕仪/硬度计、激光声波测试仪等进行校准、标定和进一步开发。可以预计,本项目的开展,对改善薄膜质量控制,进而提高我国当前MEMS及其它微纳米元件的设计与制造水平起到良好的推动作用。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(2)
专利数量(0)
A Post-Indent Imaging System with Nanometric Resolution for Micro-/Nano-Indentation Testing
用于微/纳米压痕测试的具有纳米分辨率的压痕后成像系统
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- 发表时间:2008
- 期刊:Nanotechnology and Precision Engineering
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