新型纳机电系统器件制作及机电耦合基础研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60576048
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:28.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0404.半导体电子器件与集成
- 结题年份:2008
- 批准年份:2005
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2006-01-01 至2008-12-31
- 项目参与者:许军; 余文革; 侯智昊; 方杰; 刘冰; 赵帆;
- 关键词:
项目摘要
随着现代加工技术的发展,制作含有纳米功能结构的纳机电系统已经成为可能并在逐渐形成热点。纳机电系统与传统微机电系统的的区别不仅仅是几何尺寸的简单缩小。有于进入纳米尺度,不但使系统的谐振频率进入GHz量级,而且量子化输运现象也将对信号的获得和提取产生影响。其他物理现象如Casimir力也可能在纳米级的结构的作用中产生显著的作用。这些特点使纳机电系统在传感、测量和基础研究方面获得广泛的应用。本项目提出制作一种新型纳机电系统器件并开展机电耦合效应基础研究,其主要研究内容是采用现代加工方法获得横向尺度小于100纳米量级的纳米梁和相应的纳米电极结构;研究一种射频锁相测量方法;测量不同温度和不同静电力作用下的纳米梁的谐振特性和挠性行为;研究纳米谐振结构的高频特性;研究纳米结构中的电荷输运行为;开展理论分析并通过上述试验研究建立相应的理论模型,为纳机电系统的进一步应用研究打下基础。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(1)
专利数量(0)
一种低驱动电压的SP4T RF MEMS开关
- DOI:--
- 发表时间:2008
- 期刊:传感技术学报
- 影响因子:--
- 作者:李志坚;刘泽文;侯智昊;胡光伟
- 通讯作者:胡光伟
Realization of a series contact MEMS switch with SiON dielectric bridge
采用 SiON 电介质桥的串联接触 MEMS 开关的实现
- DOI:--
- 发表时间:2008
- 期刊:Chinese Journal of Electronics
- 影响因子:1.2
- 作者:Zewen, Liu;Zhihao, Hou;Guangwei, Hu;Litian, Liu;Zhijian, Li
- 通讯作者:Zhijian, Li
A study of patterning and annealing effects on the performance of magnetic planar inductor
图案化和退火对磁性平面电感器性能影响的研究
- DOI:10.1116/1.2958245
- 发表时间:2008-08
- 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology B
- 影响因子:1.4
- 作者:Sun, Hongfang;Zhu, Jing;Zhao, Jiahao;Wang, Li;Liu, Zewen
- 通讯作者:Liu, Zewen
串联电容式RF MEMS开关设计与制造研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:传感技术学报
- 影响因子:--
- 作者:李志坚;刘泽文;刘理天;胡光伟;侯智昊
- 通讯作者:侯智昊
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其他文献
Imidacloprid acts as an antagonist on insect nicotinic acetylcholine receptor containing the Y 151M mutation.
吡虫啉作为含有 Y 151M 突变的昆虫烟碱乙酰胆碱受体的拮抗剂。
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:Neuroscience Letters
- 影响因子:2.5
- 作者:刘泽文
- 通讯作者:刘泽文
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- DOI:--
- 发表时间:2020
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- DOI:--
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- 期刊:清华大学学报(自然科学版)
- 影响因子:--
- 作者:刘泽文;丁冬;李春文
- 通讯作者:李春文
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- DOI:--
- 发表时间:2017
- 期刊:研究生教育研究
- 影响因子:--
- 作者:罗英姿;刘泽文;张佳乐
- 通讯作者:张佳乐
中红侧沟茧蜂嗅觉受体MmedOr2基因的克隆及组织表达谱
- DOI:--
- 发表时间:2014
- 期刊:中国生物防治学报
- 影响因子:--
- 作者:路子云;刘泽文;张永军;郭予元
- 通讯作者:郭予元
其他文献
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