表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60406003
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:23.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0406.集成电路器件、制造与封装
- 结题年份:2007
- 批准年份:2004
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2005-01-01 至2007-12-31
- 项目参与者:付贤松; 李志国; 徐江涛; 吴成昌; 朱胜利; 何灏;
- 关键词:
项目摘要
本项目用激光产生超声表面波法来研究超大规模集成电路多层金属互连系统中绝缘质的机械特性。介电常数(k)小于2的纳米多孔介质是最具潜力应用于未来超大规模集成电路的绝缘质。但其硬度低、超薄、易碎等特点制约了互连系统内介质与金属引线集成流程中所必经的化学机械抛光工艺的进行。所以非常有必要研究低k绝缘质的机械性能。目前国际上常用的nanoindentation(纳米牛顿压痕法)方法已逐渐不适于研究此类低k介质薄膜的机械特性,造成很大的误差。而超声表面波法具有准确、不损伤材料等突出优点,有潜力服务于集成电路制造工艺线上的在线检测。本课题研究超声表面波在纳米多孔介质薄膜中的激发特点及传播机理,寻找无损伤准确测定薄膜机械特性的最佳条件,建立起实验、理论计算、信号分析的完整体系,研究不同条件下制备的多种低k介质薄膜的机械特性,给出低k绝缘质的介电常数与机械特性的关系。此研究适应我国集成电路发展的迫切需要。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(13)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(7)
专利数量(0)
基于表面波技术的纳米多孔介电常
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:天津大学学报,已接收。
- 影响因子:--
- 作者:李志国;姚素英;肖夏;白茂森
- 通讯作者:白茂森
表征ULSI互连纳米薄膜硬度特性的
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:物理学报, 56(4), pp.2428-2433,(2007).
- 影响因子:--
- 作者:肖夏;尤学一;姚素英
- 通讯作者:姚素英
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:电子学报, 34(5), 774-777, (2006).
- 影响因子:--
- 作者:肖夏;姚素英;阮刚
- 通讯作者:阮刚
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--"}}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--" }}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--"}}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:{{ item.authors }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
其他文献
铺药隔姜灸治疗原发性痛经24例临床观察
- DOI:--
- 发表时间:2016
- 期刊:湖南中医杂志
- 影响因子:--
- 作者:冷金成;文平;李思宇;田珍;肖夏;赵中亭
- 通讯作者:赵中亭
超宽带微波检测早期乳腺肿瘤三维仿真
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:Acta Physica Sinica
- 影响因子:1
- 作者:肖夏;徐立;刘冰雨
- 通讯作者:刘冰雨
聚酰胺胺树形分子的叶酸修饰及其表征
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:武汉工程大学学报
- 影响因子:--
- 作者:吴江渝;董兴梅;肖夏
- 通讯作者:肖夏
针刺对慢性情绪应激焦虑大鼠肾上腺ANP、CNP水平的影响
- DOI:--
- 发表时间:2016
- 期刊:中国针灸
- 影响因子:--
- 作者:张承舜;魏京金;肖夏;周奇志
- 通讯作者:周奇志
用于三维超宽带乳腺肿瘤成像的最佳天线系统
- DOI:--
- 发表时间:2013
- 期刊:天津大学学报(自然科学与工程技术版)
- 影响因子:--
- 作者:肖夏;王梁;徐立
- 通讯作者:徐立
其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:{{ item.doi || "--" }}
- 发表时间:{{ item.publish_year || "--"}}
- 期刊:{{ item.journal_name }}
- 影响因子:{{ item.factor || "--" }}
- 作者:{{ item.authors }}
- 通讯作者:{{ item.author }}

内容获取失败,请点击重试

查看分析示例
此项目为已结题,我已根据课题信息分析并撰写以下内容,帮您拓宽课题思路:
AI项目摘要
AI项目思路
AI技术路线图

请为本次AI项目解读的内容对您的实用性打分
非常不实用
非常实用
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
您认为此功能如何分析更能满足您的需求,请填写您的反馈:
肖夏的其他基金
集成电路互连薄膜机械性能多参数的表面波无损表征研究
- 批准号:61571319
- 批准年份:2015
- 资助金额:60.0 万元
- 项目类别:面上项目
基于超宽带微波成像的乳腺肿瘤影像技术机理研究
- 批准号:61271323
- 批准年份:2012
- 资助金额:75.0 万元
- 项目类别:面上项目
表面波无损表征ULSI铜与低介电常数介质布线薄膜机械特性与粘附性的研究
- 批准号:60876072
- 批准年份:2008
- 资助金额:32.0 万元
- 项目类别:面上项目
相似国自然基金
{{ item.name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 批准年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}
相似海外基金
{{
item.name }}
{{ item.translate_name }}
- 批准号:{{ item.ratify_no }}
- 财政年份:{{ item.approval_year }}
- 资助金额:{{ item.support_num }}
- 项目类别:{{ item.project_type }}