表面波方法研究集成电路互连布线的纳米多孔介质硬度特性

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60406003
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    23.0万
  • 负责人：
    肖夏
  • 依托单位：
    天津大学
  • 学科分类：
    F0406.集成电路器件、制造与封装
  • 结题年份：
    2007
  • 批准年份：
    2004
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2005-01-01 至2007-12-31

项目摘要

本项目用激光产生超声表面波法来研究超大规模集成电路多层金属互连系统中绝缘质的机械特性。介电常数(k)小于2的纳米多孔介质是最具潜力应用于未来超大规模集成电路的绝缘质。但其硬度低、超薄、易碎等特点制约了互连系统内介质与金属引线集成流程中所必经的化学机械抛光工艺的进行。所以非常有必要研究低k绝缘质的机械性能。目前国际上常用的nanoindentation(纳米牛顿压痕法)方法已逐渐不适于研究此类低k介质薄膜的机械特性，造成很大的误差。而超声表面波法具有准确、不损伤材料等突出优点，有潜力服务于集成电路制造工艺线上的在线检测。本课题研究超声表面波在纳米多孔介质薄膜中的激发特点及传播机理，寻找无损伤准确测定薄膜机械特性的最佳条件，建立起实验、理论计算、信号分析的完整体系，研究不同条件下制备的多种低k介质薄膜的机械特性，给出低k绝缘质的介电常数与机械特性的关系。此研究适应我国集成电路发展的迫切需要。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（13）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（7）
专利数量（0）
The determination for the adhe
附着力的测定
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    肖夏;尤学一
  • 通讯作者：
    尤学一
基于表面波技术的纳米多孔介电常
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    天津大学学报，已接收。
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    李志国;姚素英;肖夏;白茂森
  • 通讯作者：
    白茂森
表征ULSI互连纳米薄膜硬度特性的
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    物理学报, 56(4), pp.2428-2433，(2007).
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    肖夏;尤学一;姚素英
  • 通讯作者：
    姚素英
表面波表征ULSI互连布线双层薄膜
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    电子学报, 34(5), 774-777, (2006).
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    肖夏;姚素英;阮刚
  • 通讯作者：
    阮刚
Theoretical Study of Mechanica
力学理论研究
  • DOI：
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  • 发表时间：
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  • 期刊：
  • 影响因子：
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  • 作者：
  • 通讯作者：

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其他文献

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  • DOI：
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  • 发表时间：
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  • 影响因子：
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  • 作者：
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  • 通讯作者：
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  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    1
  • 作者：
    肖夏;徐立;刘冰雨
  • 通讯作者：
    刘冰雨
聚酰胺胺树形分子的叶酸修饰及其表征
  • DOI：
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  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    武汉工程大学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    吴江渝;董兴梅;肖夏
  • 通讯作者：
    肖夏
针刺对慢性情绪应激焦虑大鼠肾上腺ANP、CNP水平的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
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  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张承舜;魏京金;肖夏;周奇志
  • 通讯作者：
    周奇志
用于三维超宽带乳腺肿瘤成像的最佳天线系统
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    天津大学学报(自然科学与工程技术版)
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    肖夏;王梁;徐立
  • 通讯作者：
    徐立

其他文献

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肖夏的其他基金

集成电路互连薄膜机械性能多参数的表面波无损表征研究
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相似国自然基金

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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