基于微压印成形的真三维MEMS器件一体化制造方法探索

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    50305026
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    27.0万
  • 负责人：
    段玉岗
  • 依托单位：
    西安交通大学
  • 学科分类：
    E0512.微纳机械系统
  • 结题年份：
    2006
  • 批准年份：
    2003
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2004-01-01 至2006-12-31
  • 项目参与者：
    曹瑞军； 劳奇成； 乔桂芳； 金涛； 刘红忠； 李寒松； 严乐； 王立永； 秦旭光；
  • 关键词：
    分层制造压印光刻MEMS器件

项目摘要

本项目基于分层制造原理，提出一种真三维MEMS器件制造工艺方法，即三维MEMS器件微压印光刻(Nano-Imprint Lithography)制造技术，这一方法实现了MEMS制造中制作、封装一体化。项目对该技术相关的压印和脱模工艺及机理、复型精度、缺陷和误差传递、套刻对正定位系统、紫外光固化图形转移材料的物理化学性能和工艺特性、多材料结构MEMS器件的复合成型工艺等关键技术等进行研究和技术开发。建立基于微压印的真三维MEMS器件分层制造的技术基础；开发相应的MEMS分层制造技术及相应原型设备系统；为MEMS制造提供一种低成本、一体化制造方法。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（6）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（2）
专利数量（0）
Imprint template fabrication b
压印模板制作b
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王权岱;段玉岗*;卢秉恒;丁玉
  • 通讯作者：
    丁玉
纳米压印光刻中模板与基片的平行
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    微细加工技术，（2）：34～38, 2005.06（EI：05339305426）
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张亚军;段玉岗*;卢秉恒;王权
  • 通讯作者：
    王权
基于微压印成形的微电子机械系统
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    西安交通大学学报， 39(9)：946~949，2005.09, （EI：05429423645）
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王权岱;段玉岗*;丁玉成;卢秉
  • 通讯作者：
    卢秉
基于湿法刻蚀的MEMS压印模版制作
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    微细加工技术，（1）：36～40, 2006.02（EI：06209883047
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王权岱;段玉岗*;卢秉恒;丁玉
  • 通讯作者：
    丁玉
MEMS多层压印工艺中的视频图像对
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    光电工程， 32（10）：84～88，2005.10, （EI：05469478276）
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王权岱;段玉岗*;卢秉恒;丁玉
  • 通讯作者：
    丁玉

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

其他文献

辐射剂量分布对低能电子束分层固化复合材料层间剪切强度的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
    西安交通大学学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    段玉岗;张静静;张小辉;李涤尘
  • 通讯作者：
    李涤尘
低能电子束原位固化树脂基复合材料纤维铺放制造及性能
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    机械工程学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    段玉岗;刘潇龙;张小辉;李涤尘
  • 通讯作者：
    李涤尘
辐照剂量及后固化温度对低能电子束分层固化复合材料层间性能的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    机械工程材料
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张静静;段玉岗;赵新明
  • 通讯作者：
    赵新明

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
empty
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{{ item.name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 批准年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}

相似海外基金

{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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