适应纳米尺度CMOS集成电路DFM的ULTRA模型完善和偏差模拟技术研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:60976066
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:41.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0405.半导体器件物理
- 结题年份:2012
- 批准年份:2009
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2010-01-01 至2012-12-31
- 项目参与者:周幸叶; 马晨月; 张立宁; 张健; 林信南; 甘学温; 徐文华; 黄宇聪; 宋媛媛;
- 关键词:
项目摘要
纳米尺度CMOS集成电路可制造性设计(Desing for Manufacturability, DFM)依赖CMOS模型和反映工艺偏差特征和规律的技术,以及将二者有效连接的模拟方法。我们提出"适应纳米尺度CMOS集成电路DFM的ULTRA模型完善和偏差模拟技术研究"项目, 争取2到3年在纳米电路DFM用新一代CMOS模型功能完善和工艺偏差表征和模拟技术上有突破性进展:完善ULTRA模型对非均匀掺杂,高K栅结构,应力效应的模拟;建立统一QS/NQS,RF/HF模型;研究工艺,版图和器件设计导致的空间几何变化,掺杂偏差模拟方法和模型模拟,建立对应统计模型;设计DFM测试结构,提出偏差参数提取方法和算法;研究ULTRA核心CMOS功能自恰集成偏差模拟技术方法;在ULTRA框架上完成从纳米工艺到电路DFM的CMOS模型和工艺偏差模块的快速验证,形成ULTRA模型框架的DFM模拟和计算平台。
结项摘要
“适应纳米尺度CMOS集成电路DFM的ULTRA模型完善和偏差模拟技术研究”项目的主要工作包括:针对纳米尺度CMOS集成电路可制造性设计(Design for Manufacturability, DFM)完善ULTRA模型,以适应其对非均匀掺杂、高K栅结构和应力效应的模拟;研究工艺、版图和器件设计导致的空间几何变化,掺杂偏差模拟方法和模型模拟,并建立对应的统计模型;设计DFM测试结构,提出偏差参数提取方法和算法;研究ULTRA核心CMOS功能自洽集成偏差模拟技术方法;在ULTRA框架上完成从纳米工艺到电路DFM的CMOS模型和工艺偏差模块的快速验证,形成ULTRA模型框架的DFM模拟和计算平台。.在本项目的执行过程中,我们按照研究计划展开了一系列相应的工作。截止至2012年12月项目结束时,我们较为圆满地完成了所有的研究任务,在纳米CMOS器件模型、纳米电路偏差模拟、以及集成电路DFM设计等方面都取得了预期的研究成果。在学术上取得了显著成就,在国际权威期刊和会议上发表多篇高水平的研究论文,其中SCI收录论文14篇,EI收录论文21篇,受邀在国际会议上做特邀报告3次,申请专利3个,先后培养了博士毕业生1名,硕士毕业生2名,在读博士生2名,在读硕士生2名,同时项目组还与国际知名大学如香港科技大学、日本广岛大学和美国亚利桑那州立大学等开展了广泛的合作。本项目的研究工作为我国在该方面的学术发展奠定了一定基础,开创了CMOS器件模型和集成电路CAD模拟工具研究的新课题,并为国际商用纳米电路偏差模拟模型的开发研究工作提供了一定的理论指导和技术支持,进一步突出了本研究小组在纳米CMOS器件模型和纳米集成电路DFM模拟领域的国际地位,增强了我们在该专题上参与国际竞争的能力。
项目成果
期刊论文数量(15)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(22)
专利数量(3)
Numerical Simulation of Detection Response of Field Effect MOS Transistor to Modulated Terahertz Radiation Signal
场效应MOS晶体管对调制太赫兹辐射信号检测响应的数值模拟
- DOI:--
- 发表时间:2010-08
- 期刊:JOURNAL OF COMPUTATIONAL AND THEORETICAL NANOSCIENCE
- 影响因子:--
- 作者:Wang, Yinglei;Yan, Zhifeng;Zhu, Jingxuan;Lin, Xinnan;He, Jin;Chan, Mansun;Cao, Juncheng
- 通讯作者:Cao, Juncheng
A generic numerical model for detection of terahertz radiation in MOS field-effect transistors
用于检测 MOS 场效应晶体管中太赫兹辐射的通用数值模型
- DOI:10.1016/j.sse.2010.03.009
- 发表时间:2010-08-01
- 期刊:SOLID-STATE ELECTRONICS
- 影响因子:1.7
- 作者:Wang, Yinglei;Yan, Zhifeng;Chan, Mansun
- 通讯作者:Chan, Mansun
Numerical study on heterodyne terahertz detection in field effect transistor
场效应晶体管外差太赫兹探测数值研究
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:OPTICS EXPRESS
- 影响因子:3.8
- 作者:Yan, Zhifeng;Zhu, Jingxuan;Wang, Yinglei;Lin, Xinnan;He, Jin;Cao, Juncheng
- 通讯作者:Cao, Juncheng
Non-Charge-Sheet Analytic Model for Ideal Retrograde Doping MOSFETs
理想逆行掺杂 MOSFET 的非电荷层分析模型
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:J. Comput. Theor. Nanosci.
- 影响因子:--
- 作者:Jin He;Zhize Zhou;Cao Yu;Lin He;Yun Ye;Mansun Chan
- 通讯作者:Mansun Chan
A Physics Based Yet Computation Efficient Core Model for Undoped Surrounding-Gate MOSFET CurrentVoltage and CapacitanceVoltage Characteristics Prediction
基于物理且计算高效的未掺杂环栅 MOSFET 电流核心模型
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:J. Comput. Theor. Nanosci.
- 影响因子:--
- 作者:Min Shi;Hao Zhuang;Jin He;Lining Zhang;Jian Zhang;Zhiwei Liu;Wen Wu;Wenping Wang;Yong Ma;Xukai Zhang
- 通讯作者:Xukai Zhang
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其他文献
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- DOI:10.1088/1674-4926/33/11/114004
- 发表时间:2012-11
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- 影响因子:--
- 作者:崔小乐;何进;张兴;Wei Yiqun,Lin Xinnan~+,Jia Yuchao,Cui Xiaole He Ji
- 通讯作者:Wei Yiqun,Lin Xinnan~+,Jia Yuchao,Cui Xiaole He Ji
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- DOI:--
- 发表时间:2012
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- 影响因子:--
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- DOI:--
- 发表时间:2012
- 期刊:计算生物学
- 影响因子:--
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- 通讯作者:何进
其他文献
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