基于变Knudsen数气流3维模拟的低压腔室多目标优化设计方法研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    51005132
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    21.0万
  • 负责人：
    程嘉
  • 依托单位：
    清华大学
  • 学科分类：
    E0506.机械设计学
  • 结题年份：
    2013
  • 批准年份：
    2010
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2011-01-01 至2013-12-31

项目摘要

低压腔室是刻蚀、沉积、氧化扩散等集成电路制造工艺的核心部件，目前其结构设计以试错法为主，设计理念"重工艺优化，轻结构优化"。工艺或等离子体模型的准确度低于用直接模拟蒙特卡洛（DSMC）等方法建立的气流模型，不适于腔室结构优化设计研究。流经喷气孔板的低压气体Knudsen数变化范围较大，在本课题中引入混合NS-DSMC方法，建立变Kn数气流3维模型，其中NS方程计算连续流，DSMC方法计算稀薄气体，在保证模型准确性的同时提高计算效率。本课题原创性地提出"变结构腔室"概念，专为研究结构参数变化对气流实验结果的影响。同时结合气流模拟，采用试验设计方法，建立结构参数与气流特性评价指标间的响应面模型，进而提出面向工艺的气流特性评价准则，为最终实现腔室结构的优化设计，可靠性和鲁棒性设计提供科学依据和方法指导。本项目成果还可用于化工、热处理、光伏电池制造等领域中腔室部件的研发，极具工程研究价值。

结项摘要

低压腔室是刻蚀、沉积、氧化扩散等集成电路制造工艺的核心部件，利用直接模拟蒙特卡洛（DSMC）方法建立准确的气流模型对于腔室结构、工艺优化设计具有重要的学术价值和工程意义。流经喷气孔板（如showerhead或injector）的低压气体Knudsen数变化范围较大，在本课题中引入混合NS-DSMC方法，使用自主开发的DSMC模拟程序建立了变Kn 数气流3 维模型，并借助MPCCI软件成功实现与FLUENT的耦合计算，其中FLUENT计算连续流，DSMC方法计算稀薄气体，在保证模型准确性的同时提高计算效率。本课题原创性地提出“变结构腔室”概念，专为研究结构参数变化对气流实验结果的影响。同时结合气流模拟，采用试验设计方法，建立结构参数与气流特性评价指标间的响应面模型，进而提出面向工艺的气流特性评价准则，为最终实现腔室结构的优化设计，可靠性和鲁棒性设计提供科学依据和方法指导。本项目成果还可用于化工、热处理、光伏电池制造等领域中腔室部件的研发，极具工程研究价值。

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（3）
专利数量（5）

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

其他文献

超宽带无线收发机中的正交LC VCO设计
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    电子器件
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    唐旭升;汪小军;程嘉;黄风义;王勇
  • 通讯作者：
    王勇
静电卡盘与晶圆之间稀薄气体传热的影响因素
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    清华大学学报(自然科学版)
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    路益嘉;程嘉;侯悦民;季林红
  • 通讯作者：
    季林红
注意缺陷多动障碍共患抽动障碍儿童的执行功能
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2017
  • 期刊：
    中国心理卫生杂志
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    廖文静;金嘉郦;李海梅;刘璐;孙黎;程嘉;钱英;钱秋谨;王玉凤
  • 通讯作者：
    王玉凤
汉语发展性阅读障碍诊断与干预的专家意见
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
    中国心理卫生杂志
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    王久菊;孟祥芝;李虹;崔新;洪恬;杨斌让;静进;王玉玲;王如蜜;王春雪;卢建平;孙黎;毕鸿燕;刘丽;刘靖;刘翔平;李秀红;买合甫来提·坎吉;任园春;邢爱玲;陈立;宋然然;吴汉荣;杨志伟;张宁;张玉平;赵静;贾飞勇;翁旭初;章依文;董选;程嘉;舒华;王玉凤
  • 通讯作者：
    王玉凤
注意缺陷多动障碍共患抑郁障碍儿童的执行功能特点
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
    中国心理卫生杂志
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    刘栋梁;高倩;程嘉;钱英;李海梅;刘璐;孙黎;钱秋谨;王玉凤
  • 通讯作者：
    王玉凤

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
empty
内容获取失败，请点击重试
重试联系客服
title开始分析
查看分析示例
此项目为已结题，我已根据课题信息分析并撰写以下内容，帮您拓宽课题思路：

AI项目思路

AI技术路线图

程嘉的其他基金

摩擦高压驱动的薄膜静电阻尼器自适应调控机制研究
  • 批准号：
    52375294
  • 批准年份：
    2023
  • 资助金额：
    50 万元
  • 项目类别：
    面上项目
负重行进中基于自供能经颅电刺激的体能增强机制研究
  • 批准号：
    52075286
  • 批准年份：
    2020
  • 资助金额：
    58 万元
  • 项目类别：
    面上项目

相似国自然基金

{{ item.name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 批准年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}

相似海外基金

{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

知道了

AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
关闭
close
客服二维码