采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究

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AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    60506003
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    24.0万
  • 负责人：
    张晓丹
  • 依托单位：
    南开大学
  • 学科分类：
    F0401.半导体材料
  • 结题年份：
    2008
  • 批准年份：
    2005
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2006-01-01 至2008-12-31

项目摘要

本课题提出模拟VHF-PECVD制备低温高速微晶硅薄膜的等离子体沉积过程。通过建立等离子体二维自适应流体模型，围绕主要反应粒子的质量、动量和能量平衡来描述等离子体中各种薄膜生长前驱物的动力学过程与系统尺寸、调控生长条件之间的关系，认识微晶硅薄膜的生长机理。通过多种等离子体诊断技术，深刻认识等离子体参数对微晶硅薄膜生长微观动力学的影响，同时改变辉光功率、激发频率、硅烷浓度、电极间距等宏观沉积参数，同对所获微晶硅薄膜物理特性的对照，来获得宏观沉积参数与高速沉积微晶硅薄膜之间的内在联系，以验证模型计算的可对照性并提供修正依据，为VHF-PECVD技术高速沉积微晶硅薄膜工艺优化提供指导。针对目前硅薄膜电池下一代非晶硅/微晶硅叠层太阳电池研究，力图模拟揭示高速率沉积微晶硅薄膜的带有普适性的沉积机理，可缩短研制周期，相信能有利于推动微晶硅薄膜太阳电池的产业化进程，为光伏事业作出重大贡献。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（22）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（9）
专利数量（4）
Plasma power and impedance measurement in silicon thin film deposition
硅薄膜沉积中的等离子体功率和阻抗测量
  • DOI：
    10.7498/aps.56.5309
  • 发表时间：
    2007-09
  • 期刊：
    物理学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Mataras Dimitris;Amanatides Elefterious;张晓丹;赵颖;张发荣
  • 通讯作者：
    张发荣
Study on Transition Materials from Amorphous to Microcrystalline Silicon and Solar Cells
非晶硅向微晶硅过渡材料及太阳能电池的研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2007
  • 期刊：
    Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    赵颖;魏长春;陈飞;孙建;张晓丹
  • 通讯作者：
    张晓丹
Influence of front electrode and back reflector electrode on the performances of microcrystalline silicon solar cells
前电极和背反射电极对微晶硅太阳能电池性能的影响
  • DOI：
    10.1016/j.jnoncrysol.2005.12.047
  • 发表时间：
    2006-06
  • 期刊：
    Journal of Non-Crystalline Solids
  • 影响因子：
    3.5
  • 作者：
    Gao, Y. T.;Zhang, X. D.;Chen, X. L.;Wei, C. C.;Sun, J.;Hou, G. F.;Zhao, Y.;Geng, X. H.;Xiong, S. Z.;Zhu, F.
  • 通讯作者：
    Zhu, F.
Influence of total gas flow rate on micro crystalline silicon films prepared by VHF-PECVD
总气体流量对VHF-PECVD制备微晶硅薄膜的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    CHINESE PHYSICS
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Sun, J;Zhang, XD;Wei, CC;Zhu, F;Chen, F;Gao, YT;Zhao, Y
  • 通讯作者：
    Zhao, Y
Effect of substrate bias on the plasma enhanced chemical vapor deposition of microcrystalline silicon thin films
衬底偏压对等离子体增强化学气相沉积微晶硅薄膜的影响
  • DOI：
    10.1016/j.tsf.2007.12.060
  • 发表时间：
    2008-08
  • 期刊：
    Thin Solid Films
  • 影响因子：
    2.1
  • 作者：
    Y. Zhao;E. Amanatides;D. Mataras;X. D. Zhang;F. R. Zhang
  • 通讯作者：
    F. R. Zhang

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

其他文献

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  • 发表时间：
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  • 期刊：
  • 影响因子：
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  • 通讯作者：
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  • 影响因子：
    --
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    Plasma Science and Technology
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    1.7
  • 作者：
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  • 通讯作者：
    张晓丹

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
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{{ item.name }}
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    {{ item.ratify_no }}
  • 批准年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}

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{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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