極限環境下で使用可能な人工ダイヤモンド放射線検出器・半導体デバイスの開発

开发可在极端环境下使用的人造金刚石辐射探测器和半导体器件

• 批准号: 13J02500
• 负责人: 嶋岡 毅紘
• 金额: $ 1.92万
• 依托单位: Hokkaido University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-13J02500/
• 关键词: 電荷キャリア輸送特性; エネルギー分解能; DD中性子計測; Fano因子; 単結晶CVDダイヤモンド; DT中性子エネルギースペクトロメータ; CVDダイヤモンド; 慣性核融合; 電荷収集効率; ダイヤモンド放射線検出器; 電荷キャリア輸送特性; エネルギー分解能; DD中性子計測; Fano因子; 単結晶CVDダイヤモンド; DT中性子エネルギースペクトロメータ; CVDダイヤモンド; 慣性核融合; 電荷収集効率; ダイヤモンド放射線検出器

最終年度は(1)高速点火方式慣性核融合におけるDD中性子計測、(2)ダイヤモンド放射線検出器のFano因子評価、半導体デバイス作製の一環として(3)ダイヤモンドアバランシェダイオード作製の3つに取り組んだ。(1)では前年度まで行ってきたノイズ対策をさらに発展させ、自作した銅製ファラデーケージの導入により爆縮時の電磁ノイズをオシロスコープ量子化誤差程度まで低減、米国NIFよりも3桁以上低い10^8 neutrons/shot台の中性子発生数においても中性子信号の観測に成功した。(2)では前年度に電荷キャリア輸送特性を改善したダイヤモンド放射線検出器に対しα線を用いて詳細なエネルギー分解能評価を行い、ダイヤモンド放射線検出器として初めて実験的にFano因子を得た。シリコン表面障壁型半導体検出器との比較により電子正孔対平均生成エネルギー：ε＝13.1eVを得た。エネルギー分解能の実測値は0.3086±0.004%とダイヤモンド放射線検出器としてトップクラスの値を得た。回路ノイズを誤差伝搬の式により差し引いて得られた検出器固有エネルギー分解能は0.2250±0.0004%であった。実験的に求めたこれらの値からファノ因子F = 0.382±0.007を得た。また、導電性基板上への気相成長を行い、キャリア輸送特性のさらなる改善を試みたが、大幅な輸送特性改善は見られなかった。(3)のアバランシェダイオード作製への取り組みではダイヤモンド上に線幅１μm、100μmピッチの細線パターンを電子ビームリソグラフィにより作製マイクロプロバーシステムでコンタクトを取りα線誘導電荷量分布測定を行った。細線部に対してコネクタの上限である250Vを印可したが優位な信号の増幅は観測されなかった。

在最后一年，我们研究了三个主题：（1）高速点火惯性融合中的DD中子测量，（2）评估钻石辐射探测器的FANO因子，以及（3）制造钻石雪崩二极管的一部分，作为我们制造半导体装置的一部分。在（1）中，我们进一步开发了直到上一年实施的噪声对策，并通过引入一个自制成的铜法拉迪笼子，我们降低了振荡期间的电磁噪声到示波器的量化误差的水平，并成功地观察到了中性级别的中子数量，比三个neutrons/shots shots shotrons shotrons/shots shots shots shots/shots shots shots shots/shots shots/shots shots shots/shots shots shots shots apentriaty的数量很高。在（2）中，使用α射线对钻石辐射探测器进行了详细的能量分辨率评估，该钻石辐射检测器上一年改善了电荷载体传输特性，并且首次作为钻石辐射探测器在实验中获得了FANO因子。与硅表面屏障类型半导体检测器的比较给出了电子孔与平均产生能量：ε= 13.1 eV。实际测得的能量分辨率为0.3086±0.004％，这是钻石辐射检测器的顶级值之一。通过使用误差传播方程减去电路噪声获得的检测器内在能量分辨率为0.2250±0.0004％。从这些实验确定的值获得FANO因子F = 0.382±0.007。此外，尽管在导电底物上进行了蒸汽相生长，但仍尝试进一步改善载体运输特性，但未观察到转运性能的显着改善。在（3）中，为了制造雪崩二极管，使用微电器系统使用电子束光刻在钻石上接触了线宽为1μm的细线图案，并使用微电器系统接触100μm的螺距，以测量α射线诱导电荷的量。将连接器的上限应用于250V的细线部分，但没有观察到上级信号的放大。