Digital hologram measurements of thermohydrodynamic behavior at a thermally-assisted UV nanoimprint process

热辅助紫外纳米压印工艺中热流体动力学行为的数字全息图测量

• 批准号: 23560243
• 负责人: SATAKE Shinichi
• 金额: $ 3.49万
• 依托单位: Tokyo University of Science
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23560243/
• 关键词: 流体計測; ホログラム; インプリント; 光硬化樹脂

This study reports on a technique for measuring four-dimensional flow of UV curable resin during the process of nanoimprinting by employing a micro-digital-holographic particle-tracking velocimetry (micro-DHPTV) technique. In this study, high time-resolution measurements of flow field of UV curable resin at a press process step accompanied by a heating of UV-NIL were carried. The temperature dependence of UV curable resin was evaluated by measuring the UV curable resin while varying its temperature.

本研究报告了一种采用微型数字全息粒子跟踪测速（微型 DHPTV）技术来测量纳米压印过程中紫外线固化树脂四维流动的技术。在本研究中，对伴随 UV-NIL 加热的冲压工艺步骤中 UV 固化树脂的流场进行了高时间分辨率测量。通过在改变温度的同时测量UV固化树脂来评价UV固化树脂的温度依赖性。

项目成果

ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測

纳米压印粘合过程中紫外光固化树脂的四维流动测量

• 发表时间: 2013
• 作者: 海野 徳幸; 筒田 剛; 佐竹 信一; 谷口 淳
• 通讯作者: 谷口 淳

ナノインプリント圧着過程中のUV硬化性樹脂流動に対する基板温度の影響

纳米压印粘合过程中基板温度对紫外固化树脂流动的影响

• 发表时间: 2014
• 作者: 浅野元晴;海野徳幸;佐竹信一;谷口淳
• 通讯作者: 谷口淳

ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測

纳米压印粘合过程中紫外光固化树脂的四维流动测量

• 发表时间: 2013
• 作者: 海野徳幸;筒田剛;佐竹信一;谷口淳
• 通讯作者: 谷口淳

Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV

使用数字全息 PTV 测量 UV-NIL 工艺中薄树脂层的流量分布

• 发表时间: 2013
• 作者: Noriyuki Unno; Shin;Jun Taniguchi
• 通讯作者: Jun Taniguchi

マイクロデジタルホログラフィックPTVによるUVインプリントプロセスの計測

使用微型数字全息 PTV 测量 UV 压印工艺

• 发表时间: 2011
• 作者: 佐竹信一;谷口淳;金井高弘;海野徳幸
• 通讯作者: 海野徳幸