EUVリソグラフィ×自己組織化による分子サイズに迫る超極微細加工技術の創製

使用 EUV 光刻和自组装创建接近分子尺寸的超精细加工技术

• 批准号: 21KK0262
• 负责人: 山本 洋揮
• 金额: $ 9.9万
• 依托单位: National Institutes for Quantum Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022 至 2024
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21KK0262/
• 关键词: 材料・加工; 半導体微細化; ナノ加工; ナノ材料; レジスト; 材料・加工; 半導体微細化; ナノ加工; ナノ材料; レジスト

ナノ領域の超微細加工技術の開発は半導体産業のみならず、環境・エネルギー、医療、ライフサイエンス等の分野を支える重要な技術である。近年、トップダウンの代表であるリソグラフィ技術の限界が唱え始められ、それを凌駕する微細加工技術の研究開発が国内外で進められている。本研究では、開発したメタルレジストを活用したナノ配向ガイドとブロック共重合体の自己組織化を利用したこれまでにない分子サイズのミクロ相分離を組合せたトップダウンとボトムアップの融合による分子サイズに迫る微細加工技術の創出とそのリソグラフィ等の応用に挑戦する。令和4年度は量子ビームによるメタルレジストの加工によりナノ配向ガイドの作製を試みた。具体的には、金属酸化物ナノ粒子のコアとしてEUV吸収係数が高い3種類の金属コアおよび3種類のリガンドを選定し、計9種類のナノ配向ガイドの作製を100keVの電子線描画装置を使って試みた結果、ガイドパターンとして機能することを明らかにした。また、次年度のオーストラリア渡航へ向けた事務手続きおよび受け入れ先の共同研究者と研究や渡航に関してメールで議論・調整を行った。具体的には、オーストラリア渡航期間中の業務内容の相談、研究滞在ビザの申請に必要な書類の準備、航空券等の見積もりを行った。また、滞在予定先の研究協力者と渡航開始日および渡航期間の調整等といった事務的な打ち合わせを行い、オーストラリアにおける新型コロナウイルスの感染状況がよくなっているうちに、渡航および研究を開始するという認識を共有した。さらに、国際共同研究展開の準備として、日本学術振興会が主催するJSPS-LEADSNET事業研究者交流会に参加し、海外に滞在したことがある研究者から研究および現地での生活についての情報を収集した。

纳米区域中超细处理技术的开发是一项重要技术，不仅支持半导体行业，还支持环境，能源，医疗，医疗，生命科学等领域。近年来，这是自上而下的公司的领先人物的光刻技术的局限性，已经开始倡导，并开发了超过这些技术的精细加工技术，这在国内和国际上都是在国内和国际上进行的。这项研究将挑战通过使用开发的金属抵抗力结合纳米取向指南来实现分子大小的生产技术的创建，并通过结合前所未有的分子大小的微体化合物分离和这些技术的应用。在2022年，我们试图通过使用量子束处理金属抵抗来制造纳米取向指南。具体而言，选择了三种类型的金属芯和三种具有高EUV吸收系数的配体作为金属氧化物纳米颗粒的核心，并使用100 KEV电子束绘制设备的总共生产了9种九种类型的纳米定向指南，以表明它们作为指导模式发挥作用。我们还通过有关研究和旅行的电子邮件讨论并协调了下一个财政年度的行政程序以及主持人的共同研究人员。具体来说，我们讨论了在澳大利亚旅行期间的工作内容，准备了申请研究签证所需的文件，并提供了关于机票等的估算。他还与计划留在该地区的研究合作伙伴举行了行政会议，例如调整旅行的开始日期和旅行时间，并分享了他们将在澳大利亚的COVID 19改善中旅行和研究的观点。此外，为了为发展国际联合研究的发展做准备，我们参加了日本科学促进学会主持的JSPS-Leadsnet研究人员交流会议，并从居住在国外的研究人员那里收集了有关研究和本地生活的信息。