3次元センサ構造を作りこんだマイクロ集積化ワイヤ

具有3D传感器结构的微集成线材

基本信息

批准号：
21K18158
负责人：
福澤健二
金额：
$ 16.64万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
起止时间：
2021-07-09 至 2024-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21K18158/
关键词：
フレキシブルセンサ MEMS マイクロセンサーフレキシブルデバイス 3次元造形

项目摘要

本研究では，フレキシブルフィルムを用いた新しい3次元微細構造形成法を提案し，微細フレキシブルワイヤに，3次元構造を用いたマイクロ力学量センサを複数作りこんだマイクロ集積化ワイヤの基盤技術の確立を試みている．これまでフレキシブルフィルムのハンドリングは容易でなかった．3次元構造形成の基本となる2次元構造から3次元構造への変換について，フレキシブルフィルムの柔軟性を逆に生かした新規な方法論を提案し，3次元構造を集積化したフレキシブルワイヤという新しいセンシングデバイスの基盤技術を確立しようとするものである．本研究では，とくにフレキシブルフィルムにおいて，ハンドリングを困難にしている柔軟性を逆に利用した微小3次元構造形成法の基盤確立を目的とする．具体的には，フレキシブルフィルムの特性を生かした方法を確立して，位置合わせ不要の多層化を可能とする．そして，フレキシブルフィルムを基にした極細ワイヤ状のデバイスを可能にし，フレキシブルかつ面積・体積を大幅に低減させたセンシングデバイスの原理確認を試みている．昨年度までに，3次元構造形成の基盤となる，2次元構造として，電極となる金属膜と電極を分離するための貫通穴をパターニングしたフレキシブルフィルムが有効であることを確認した．本年度は，さらに，電極パターンと貫通孔パターンを形成したフレキシブルフィルムをフレキシブルフィルムの柔軟性を逆に生かした新規な3次元構造形成法により，静電容量型力センサの構築を試みた．

在这项研究中，我们提出了一种使用柔性膜形成3D微结构的新方法，我们正在尝试为微集成电线建立基本技术，该技术使用精细柔性线上的三维结构结合了多个微机械数量传感器。到目前为止，处理灵活的电影并不容易。该公司提出了一种新方法，利用灵活膜的灵活性，用于二维结构的转换，这是形成三维结构的基础，旨在为一种称为灵活的电线的新基本技术建立一种新的基本技术，该技术称为灵活的电线，以集成三维结构。这项研究旨在为Micro-3D结构形成方法（尤其是在柔性膜中）建立基础，以利用使操作变得困难的灵活性。具体而言，建立了利用灵活膜特征的方法来启用多层，而无需对齐。我们还试图确认具有柔性并具有显着降低面积和体积的传感设备的原理，从而使超细的金属丝样设备基于柔性膜。到去年，我们证实了一部通过孔形成图案的灵活膜，用于分离形成三维结构的基础的金属膜，作为二维结构有效。今年，我们还尝试使用一种新的3D结构形成方法构造电容力传感器，该方法利用了柔性膜的灵活性，该膜使用具有电极图案和通过孔图案的柔性膜来扭转柔性膜的灵活性。