Development of multicharged ion beam assisted processing technology for high-speed etching of titanium micro mold
钛微模具高速刻蚀多电荷离子束辅助加工技术开发
基本信息
- 批准号：17K06101
- 负责人：
- 金额：$ 3.08万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2017
- 资助国家：日本
- 起止时间：2017-04-01 至 2020-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
デスクトップ型電子サイクロトロン共鳴イオン源用ウィーンフィルタの開発
台式电子回旋共振离子源维恩滤波器的研制
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Toyohisa Asaji;Hiroya Uyama;Takuro Umetsugu;Tsubasa Nakamura;Takeshi Hitobo and Yushi Kato;鵜山博也(富山高専)，山崎達瑛(富山高専)，浅地豊久(富山高専)，人母岳(立山マシン(株))，中村翼(大島商船)，加藤裕史(大阪大院)
- 通讯作者：鵜山博也(富山高専)，山崎達瑛(富山高専)，浅地豊久(富山高専)，人母岳(立山マシン(株))，中村翼(大島商船)，加藤裕史(大阪大院)
Development of 1.2-GHz ECR ion source and Wien filter for inexpensive ion beam processing system
开发用于廉价离子束处理系统的 1.2 GHz ECR 离子源和维恩滤波器
- DOI：10.1063/1.5127348
- 发表时间：2019
- 期刊：
- 影响因子：1.6
- 作者：Asaji Toyohisa;Uyama Hiroya;Umetsugu Takuro;Nakamura Tsubasa;Hitobo Takeshi;Kato Yushi
- 通讯作者：Kato Yushi
デスクトップ型ECRイオン源におけるイオン生成の高効率化
台式 ECR 离子源中离子发生效率高
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Toyohisa Asaji;Hiroya Uyama;Takuro Umetsugu;Tsubasa Nakamura;Takeshi Hitobo and Yushi Kato;鵜山博也(富山高専)，山崎達瑛(富山高専)，浅地豊久(富山高専)，人母岳(立山マシン(株))，中村翼(大島商船)，加藤裕史(大阪大院);山崎 達瑛，鵜山 博也，岡崎 陽大，浅地 豊久，人母 岳，加藤 裕史
- 通讯作者：山崎 達瑛，鵜山 博也，岡崎 陽大，浅地 豊久，人母 岳，加藤 裕史
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- 影响因子：0
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澤村淳司，水島裕人
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Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
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$ 3.08万 - 项目类别：
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