Refinement of hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning stage

电动气动混合超精密垂直定位平台的精细化

基本信息

  • 批准号：
    17K06098
  • 负责人：
    Kato Tomonori
  • 金额：
    $ 3万
  • 依托单位：
    Fukuoka Institute of Technology
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份：
    2017
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2017-04-01 至 2020-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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Force Control for Hybrid Electric-Pneumatic Ultra-Precision Vertical Positioning Device
电-气混合超精密垂直定位装置的力控制
  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Tomonori Kato;Tomohiro Tanaka;Youwei Xu;Kohei Shimazaki
  • 通讯作者：
    Kohei Shimazaki
Feed-forward pressure control of balancing cylinder for hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Tomonori Kato;Tomohiro Tanaka;Youwei Xu;Kohei Shimazaki;徐有衛，加藤友規，田中智博，島崎皓平
  • 通讯作者：
    徐有衛，加藤友規，田中智博，島崎皓平
キングモンクット工科大学ラカバン校(タイ)
叻甲挽先皇科技大学（泰国）
  • DOI：
  • 发表时间：
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
  • 通讯作者：
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    有賀正和，伊東聡，松本公久，神谷和秀

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    $ 3万
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