Three dimensional nanostructure fabrication technology using self-assemble phenomena

利用自组装现象的三维纳米结构制造技术

• 批准号: 21360059
• 负责人: WARISAWA Shinichi
• 金额: $ 12.15万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360059/
• 关键词: ナノ・マイクロ加工; 自己組織化; 三次元ナノ構造; ブロック共重合体; 集束イオンビーム化学気相成長法; テンプレート; 多層膜; 自由膜; メカニカル振動子; プラズモン共鳴; 光学多層膜; 基板処理; FIB-CVD; 薄膜形成; ナノメカニクス

We developed three-dimensional nanostructure fabrication methods using a self-assembly phenomena of diblock copolymer, polystyrene-polymethyl methacrylate that forms pillar, pore and lamella structures at 30-100nm order scale. Concretely speaking, we proposed and demonstrated the following four methods :(1) Arrangement of the self-assembled nanostructures on three-dimensional nanostructures.(2) Alignment of the self-assembled nanostructures in three-dimensional space by using nano templates.(3) Fabrication of multilayer nanostructures using the self-assembled nanostructures as templates.(4) Fabrication of free standing self-assembled nanostructures using three-dimensional nano frames.(5) Nano patterning method of the self-assembled nanostructures by energy beam irradiation.(6) Thin film jointing method using focused ion beam irradiation.

我们利用二嵌段共聚物、聚苯乙烯-聚甲基丙烯酸甲酯的自组装现象开发了三维纳米结构制造方法，可形成 30-100 nm 级的柱、孔和层状结构。具体来说，我们提出并论证了以下四种方法：（1）自组装纳米结构在三维纳米结构上的排列。（2）利用纳米模板在三维空间中排列自组装纳米结构。（3） ）以自组装纳米结构为模板制备多层纳米结构。（4）利用三维纳米框架制备自组装纳米结构。（5）纳米图案化方法通过能量束辐照自组装纳米结构。(6)使用聚焦离子束辐照的薄膜连接方法。

项目成果

電子線リソグラフィを用いたジブロック共重合体ミクロ相分離膜の選択的パターニング

使用电子束光刻对二嵌段共聚物微相分离膜进行选择性图案化

• 发表时间: 2012
• 作者: 鈴木裕之; 米谷玲皇; 割澤伸一; 石原直
• 通讯作者: 石原直

自己組織化ジブロック共重合体薄膜をポジ型/ネガ型混合レジストとして用いた電子線リソグラフィ

使用自组装二嵌段共聚物薄膜作为混合正/负抗蚀剂的电子束光刻

• 发表时间: 2012
• 作者: 鈴木裕之; 米谷玲皇; 割澤伸一; 石原直
• 通讯作者: 石原直

Confined Assembly in Coaxially Electrospun Block Copolymer Fibers

同轴静电纺嵌段共聚物纤维的受限组装

• DOI: 10.1002/adma.200601948
• 发表时间: 2006-12-18
• 期刊: Advanced Materials
• 影响因子: 29.4
• 作者: V. Kalra;S. Mendez;J. H. Lee;H. Nguyen;M. Márquez;Y. Joo
• 通讯作者: Y. Joo

Nanostructure fabrication by self-assembly of block copolymers on three-dimensional diamondlike carbon structures

通过在三维类金刚石碳结构上自组装嵌段共聚物制备纳米结构

• 发表时间: 2010
• 影响因子: 1.4
• 作者: H.Mino

Periodic cylindrical nanostructure localization by means of affinity control in diblock copolymer microphase separation

二嵌段共聚物微相分离中通过亲和力控制实现周期性圆柱形纳米结构定位

• 发表时间: 2009
• 作者: Shin'ichi WARISAWA