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Clarification of surface reactions by interaction between ions and radicals in reactive plasma processes
通过反应等离子体过程中离子和自由基之间的相互作用澄清表面反应
基本信息
- 批准号：23760694
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
In this study, the spatial density distribution and surface loss probability of hydrogen atoms have been investigated by using vacuum ultraviolet absorption spectroscopy. From the results, we clarified the spatial distribution of hydrogen atom between upper and bottom electrodes in capacitively coupled plasmas with pure H_2 gas or H_2 and N_2 mixture gas. Moreover, the surface loss probability of hydrogen atom on silicon thin films during plasma chemical vapor deposition with inductively coupled SiH_4/H_2 plasma was quantitatively clarified.
在这项研究中，已经使用真空紫外吸收光谱法研究了氢原子的空间密度分布和表面损失概率。从结果中，我们阐明了与纯H_2气体或H_2和N_2混合物气体的电容耦合等离子体中上部和底部电极之间氢原子的空间分布。此外，定量阐明了在血浆化学蒸气沉积过程中硅薄膜上氢原子的表面损失概率，并定量阐明了电感耦合的SIH_4/H_2等离子体。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Relation between gaseous radicals and μc-Si film property in SiH4/H2 plasma CVD
SiH4/H2等离子体CVD中气态自由基与μc-Si薄膜性能的关系
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：A. Fukushima;Y. Lu;Y. Abe;K. Takeda;H. Kondo;K. Ishikawa;M. Sekine;M. Hori
- 通讯作者：M. Hori
Measurement of the flux ratio of hydrogen atom to film precursor for microcrystalline silicon solar cell
微晶硅太阳能电池氢原子与薄膜前驱体通量比的测量
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Abe;M. Hori;A. Fukushima;L. Ya;K. Takeda;H. Kondo;K. Ishikawa;M. Sekine
- 通讯作者：M. Sekine
Surface reaction of hydrogen radical on plasma enhanced chemical vapour deposition of silicon thins films
氢自由基对硅薄膜等离子体增强化学气相沉积的表面反应
- DOI：
- 发表时间：2011
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Abe;K. Takeda;M. Hori;K. Ishikawa;H. Kondo;M. Sekine
- 通讯作者：M. Sekine
Evaluation of Relationship between μC-Si Film Property and Flux Ratio of H Radicals to Film Precursors
μC-Si薄膜性能与H自由基与薄膜前驱体通量比关系的评价
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：A. Fukushima;Y. Abe;Y. Lu;K. Takeda;H. Kondo;K. Ishikawa;M. Sekine;M. Hori
- 通讯作者：M. Hori
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者：
{{ item.author }}
数据更新时间：{{ patent.updateTime }}
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI：
{{ item.doi }} - 发表时间：
{{ item.publish_year }} - 期刊：
- 影响因子：{{ item.factor }}
- 作者：
{{ item.authors }} - 通讯作者：
{{ item.author }}
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