Preferential sputtering of polymer surface using Ar cluster ion beam
使用 Ar 簇离子束优先溅射聚合物表面
基本信息
- 批准号：23760037
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
In this study, we measured SIMS spectra of organic thin film and a contaminated substrate sample using gas cluster ion projectiles, and then analyzed the data using the self-modeling curve resolution method (SMCR). As a result, we could classify many secondary ion peaks into 3 or 4 species.As a result, the many secondary ion peaks from the contaminant and sample is classified into the components from methacrylic acid, that from acrylic acid and that from silane coupling agents. And alsowe have finished the development of the XPS apparatus in the lab. In the next step, we will study the mechanism of GCIB sputtering processes using the SIMS and XPS.
在本研究中，我们使用气体团簇离子射弹测量了有机薄膜和污染基底样品的 SIMS 光谱，然后使用自建模曲线分辨率方法 (SMCR) 分析了数据。因此，我们可以将许多二次离子峰分为 3 或 4 类。因此，将污染物和样品中的许多二次离子峰分为甲基丙烯酸组分、丙烯酸组分和硅烷偶联剂组分。并在实验室完成了XPS装置的研制。下一步，我们将使用 SIMS 和 XPS 研究 GCIB 溅射工艺的机理。
项目成果
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
Secondary ion emission from insulin film bombarded with methane and noble gas cluster ion beams
甲烷和稀有气体团簇离子束轰击胰岛素薄膜的二次离子发射
- DOI：
- 发表时间：
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kousuke Moritani;Masanori Kanai;Kosuke Goto;Issei Ihara;Norio Inui;Kozo Mochiji
- 通讯作者：Kozo Mochiji
Soft-sputtering of protein molecules in argon cluster SIMS
氩簇 SIMS 中软溅射蛋白质分子
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：D.Nakamura;K.Okazaki;I.A.Palani;M.Higashihata;T.Okada;春田 正和;Kousuke Moritani
- 通讯作者：Kousuke Moritani
Highly sensitive analysis for surface contaminants by Ar gas cluster SIMS
利用 Ar 气体团簇 SIMS 对表面污染物进行高灵敏度分析
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kousuke Moritani;Motohiro Tanaka;Norio Inui;Kozo Mochiji
- 通讯作者：Kozo Mochiji
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